[发明专利]光学模块以及电子设备有效
| 申请号: | 201410042294.4 | 申请日: | 2014-01-28 |
| 公开(公告)号: | CN103969727B | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
| 发明(设计)人: | 松下友纪 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号: | G02B5/28 | 分类号: | G02B5/28;G02B26/00 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 余刚,吴孟秋 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光学 模块 以及 电子设备 | ||
1.一种光学模块,其特征在于,
具备:
第一基板;
第二基板,与所述第一基板相对配置;
第一反射膜,设在所述第一基板上;
第二反射膜,设在所述第二基板上,并与所述第一反射膜相对;
第一控制电极,设在所述第一基板上;
第二控制电极,设在所述第二基板上,并与所述第一控制电极相对;以及
倾斜控制部,使第一控制电流在沿所述第一基板的基板面的第一方向流过所述第一控制电极,并使第二控制电流在沿所述第二基板的基板面且从基板厚度方向观察到的所述第一基板和所述第二基板的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二控制电极。
2.根据权利要求1所述的光学模块,其特征在于,
所述第一控制电极和所述第二控制电极之间的间隙尺寸小于所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸。
3.根据权利要求2所述的光学模块,其特征在于,
所述第一控制电极在所述俯视观察中设在所述第一反射膜的外侧,
所述第二控制电极在所述俯视观察中设在所述第二反射膜的外侧。
4.根据权利要求2所述的光学模块,其特征在于,
所述第一控制电极在所述俯视观察中与所述第一反射膜重叠设置,
所述第二控制电极在所述俯视观察中与所述第二反射膜重叠设置。
5.根据权利要求2所述的光学模块,其特征在于,
所述第一控制电极和所述第二控制电极中的至少一个控制电极的与另一个控制电极相对的面上设有绝缘膜。
6.根据权利要求1所述的光学模块,其特征在于,
具备间隙变更部,变更所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸。
7.根据权利要求6所述的光学模块,其特征在于,
在通过所述间隙变更部变更所述间隙尺寸时,所述倾斜控制部在直到所述间隙尺寸的变动结束为止的期间使所述第一控制电流和所述第二控制电流流过。
8.一种光学模块,其特征在于,
具备:
导电性的第一反射膜,使入射光的一部分反射一部分透过;
导电性的第二反射膜,与所述第一反射膜相对,使入射光的一部分反射一部分透过;以及
倾斜控制部,使第一控制电流在沿所述第一反射膜的面方向的第一方向流过所述第一反射膜,使第二控制电流在沿所述第二反射膜的面方向且从膜厚方向观察到的所述第一反射膜和所述第二反射膜的俯视观察中与所述第一方向方向相反的第二方向流过所述第二反射膜。
9.根据权利要求8所述的光学模块,其特征在于,
具备:
第一基板,设置有所述第一反射膜;以及
第二基板,设置有所述第二反射膜。
10.根据权利要求8所述的光学模块,其特征在于,
具备间隙变更部,变更所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸。
11.根据权利要求10所述的光学模块,其特征在于,
在通过所述间隙变更部变更所述间隙尺寸时,所述倾斜控制部在直到所述间隙尺寸的变动结束为止的期间,使所述第一控制电流和所述第二控制电流流过。
12.根据权利要求8所述的光学模块,其特征在于,
设有多个所述第一反射膜,这些多个所述第一反射膜电连接,
与多个所述第一反射膜对应地设有多个所述第二反射膜,这些多个所述第二反射膜电连接。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的光学模块,其特征在于,
具备间隙检测部,检测所述第一反射膜和所述第二反射膜之间的间隙尺寸,
所述倾斜控制部根据所述间隙检测部检测到的间隙尺寸,控制所述第一控制电流和所述第二控制电流。
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