[发明专利]材料供给装置

说明书

本发明提供一种材料供给装置，在更换填充容器时，能安全地更换填充容器而不会给使用者带来巨大负担。所述材料供给装置（1）包括：外容器（3），以将内容器（2）与外部空气隔离的方式收纳内容器（2），该内容器（2）收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口（20）；连接接头，用于将供给配管（6b）与导出口（20）连接，供给配管（6b）将材料供给到位于外容器（3）的外侧的规定的装置中；以及接头操作机构（5），能从外容器（3）的外侧在维持与外部空气隔离的状态下操作配置在外容器（3）内的连接接头。

技术领域

本发明涉及用于供给例如半导体制造等中所使用的材料的材料供给装置。

背景技术

作为这种材料供给装置有专利文献1所记载的装置。

这种装置包括：填充有材料的填充容器；向填充容器内导入加压气体的加压气体导入配管；以及向外部供给填充容器内的材料的供给配管，通过从加压气体导入配管导入加压气体，并对填充容器内的气体空间进行加压，材料被挤出到供给配管并供给到填充容器的外部。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2011-25104号

可是，当材料具有自燃性等、其处理必须加以严格注意的情况下，在更换填充容器时，需要谨慎操作以防材料从加压气体导入配管和供给配管等漏出。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种材料供给装置，在填充容器的更换时材料不易泄漏、能安全地进行操作。

本发明提供一种材料供给装置，其包括：外容器，用于以将内容器与外部空气隔离的方式收纳所述内容器，所述内容器收容材料并且具有用于导出所述材料的导出口；连接接头，用于将供给配管与所述导出口连接，所述供给配管将所述材料供给到位于所述外容器的外侧的规定的装置中；接头操作机构，能从所述外容器的外侧在维持与外部空气隔离了的状态下操作配置在所述外容器内的所述连接接头；以及不活泼气体充满机构，用不活泼气体将所述外容器的内部空间充满，实现所述内容器与所述外部空气隔离。

按照所述结构，通过接头操作机构，使用者能够在把内容器与外部空气隔离收纳的状态下从外容器的外侧进行内容器的更换操作。因此，即使更换操作中万一材料从内容器的导出口泄露了，由于漏出的材料会留在外容器的内侧，所以能保证安全性。

如果本发明的材料供给装置还包括：泄漏监视器，监视所述外容器的内部空间中的所述材料的泄漏；闭锁机构，设置在所述外容器的门上，所述门用于取放所述内容器；以及控制部，当由所述泄漏监视器检测到的材料泄漏量超过规定的阈值时，使所述闭锁机构动作以禁止所述门的开启，则即使在发生难以预料的情况、材料万一泄漏到外容器内的情况下，由于所述泄漏能被泄漏监视器检测出来，并且设置在外容器上的门被闭锁机构锁住而不能打开，所以能可靠地防止材料泄漏时使用者错误地打开门的情况。

如果所述泄漏监视器具备检测所述外容器的内部空间中的所述材料的泄漏的至少两个以上的检测器，则在一方的检测器发生错误时，可以用另一方的检测器检查一方的检测器的错误。此外，即使一方的检测器产生错误，由于可以用另一方的检测器检测材料的泄漏，所以能够可靠地监视外容器的内部空间中的材料的泄漏。

如果本发明的材料供给装置还包括不活泼气体充满机构，所述不活泼气体充满机构用不活泼气体将所述外容器的内部空间充满，则在材料具有自燃性等反应性时，通过使不活泼气体充满外容器内，即使材料万一泄漏到外容器内，也可以防止材料发生反应(例如着火等)。

作为优选的实施方式，可以举出：当从所述连接接头取下使用完毕的内容器的导出口时，从所述供给配管向所述外容器的内部空间导入不活泼气体，用于将使用完毕的内容器更换为新的内容器。

按照该结构，可以将供给配管中残留的材料清除，并且可以由泄漏监视器确认清除的结束。