[发明专利]使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构及其制造方法在审
申请号: | 201410036444.0 | 申请日: | 2014-01-24 |
公开(公告)号: | CN103887275A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 刘丰满;曹立强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/552;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 柔性 板实 三维 垂直 互连 结构 及其 制造 方法 | ||
技术领域
本发明涉及电子封装技术领域,特别涉及一种使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构及其制造方法。
背景技术
BGA(Ball Grid Array,球栅阵列结构印制电路板)在信号互连上是个阻抗不连续点,BGA的大小以及形貌都影响高频传输的信号完整性。越大的BGA造成的不连续越严重,在高频下传输损耗增加,回波损耗也增大,制约了高频信号的传输,尤其是射频信号的传输。随着BGA间距的减小,一方面增加了焊接的危险,造成短路,二是BGA之间的串扰也增加,影响信号完整性。BGA焊球之间的间距都是标准的,而且根据不同的应用标准,BGA焊球的属性定义都是固定的,所以使用BGA进行三维封装体内信号的屏蔽很难实现。所以BGA对芯片的屏蔽一般都是结合开腔进行的,参考美国专利US20020096767,这样的开腔比单纯的BGA屏蔽效果要好,但是由于BGA存在,从BGA处耦合进去的一定电磁波的是可能的,因此BGA的信号不连续、信号的串扰以及信号的衰减问题仍然难以解决。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种能够提高屏蔽性能、提高信号传输速率、提高互连密度的使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构及其制造方法。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构,包括第一印制电路板、第二印制电路板、第一器件、第二器件、焊球及塑封层。所述第一印制电路板为柔性印制电路板或刚柔结合性印制电路板。所述第一印制电路板的下部开有凹槽。所述第二器件安装在所述第二印制电路板的上方;所述第一印制电路板固定在所述第二印制电路板的上方,且所述第二器件设置在所述凹槽中。所述第一器件固定在所述第一印制电路板的上方;所述塑封层覆盖在所述第一印制电路板、第二印制电路板及所述第一器件的外侧。所述焊球设置在所述第二印制电路板的底部。
进一步地,所述第二印制电路板为刚性印制电路板、柔性印制电路板或IC载板。
进一步地,所述刚柔结合性印制电路板的柔性部分设置在刚性部分的上部、下部或中间位置。
进一步地,所述凹槽为方形形状。
本发明还提供了一种使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构的制造方法,包括选取或制造第一印制电路板及第二印制电路板,所述第一印制电路板为柔性印制电路板或刚柔结合性印制电路板;在所述第一印制电路板的下部开设凹槽。将第二器件安装在所述第二印制电路板上。采用焊料、各向异性导电胶、各项异性导电焊膏或各向异性导电胶与各项异性导电焊膏的混合物,将所述第一印制电路板与所述第二印制电路板进行垂直互连,互连后所述第二器件位于所述凹槽中。将第一器件安装在所述第一印制电路板上。对所述第一印制电路板及所述第一器件的外部进行灌封。在所述第二印制电路板的下部的引脚位置植球,用于对外互连。
进一步地,所述第二印制电路板为刚性印制电路板、柔性印制电路板或IC载板。
进一步地,所述焊料为各项异性导电胶、有铅焊料、无铅焊料或金锡焊料。
进一步地,安装所述第一器件及所述第二器件时,采用普通的SMT工艺、Wire-Bonding工艺或Flip-Chip工艺。
本发明提供的使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构及其制造方法,设置在上层的第一印制电路板采用柔性印制电路板或刚柔结合性印制电路板代替传统的BAG,能够减少信号的串扰、不连续和阻抗失配,从而大幅的提高信号的传输速率,支持更高的带宽;并且柔性基板结构支持更高的互连密度。同时,在第一印制电路板的下部开有凹槽,形成屏蔽腔,将内部的第二器件设置在凹槽中,提高了柔性基板结构的屏蔽性能,降低了信号的衰减幅度。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构示意图;
图2为本发明实施例二提供的使用柔性基板实现三维层间垂直互连的结构示意图。
具体实施方式
实施例一
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