[发明专利]一种补偿系统及高次非球面检测装置和方法

权利要求书

1.一种补偿系统，应用于非球面检测装置中，包括多块共轴的光学镜片，其特征在于：所述多块光学镜片中有一块分光镜，该分光镜位于所述补偿系统的中间位置，在该分光镜之前，至少设置1块或1块以上的光学镜片，在该分光镜之后，也至少设置1块或1块以上的光学镜片，当光线从所述分光镜的正面入射至反面后发生分光，部分光线经反面反射按原光路返回，另外部分光线则从该反面透射。

2.如权利要求1所述的补偿系统，其特征在于：所述分光镜的反面为一种二次非球面，该二次非球面被设计成当光线按正方向入射至该二次非球面时，波矢传播方向与该二次非球面的法向矢量平行。

3.如权利要求2所述的补偿系统，其特征在于：所述二次非球面上设有对透射光的占比进行调整的光学镀膜。

4.如权利要求1所述的补偿系统，其特征在于：所述补偿系统的光学镜片数量至少为3块。

5.一种高次非球面检测装置，其特征在于：包括干涉仪和如权利要求1至4任意项所述的补偿系统，其中所述补偿系统中的二次非球面构成了该高次非球面检测装置的分光面。

6.如权利要求5所述的高次非球面检测装置，其特征在于：被所述二次非球面反射的部分光线作为标准光反射回干涉仪中，透射光则作为测量光继续传播，经过位于该分光镜之后的光学镜片形成与被测非球面面形一致的波面。

7.一种高次非球面检测方法，该方法使用如权利要求5或6所述的高次非球面检测装置进行，其特征在于：将所述补偿系统置入干涉仪和被测高次非球面之间，调节补偿系统中的各个光学镜片，使这些光学镜片共光轴，调节位于所述分光镜后面的光学镜片，使测量光经过这些光学镜片后形成与被测高次非球面一致的波面，并被被测高次非球面反射后按原光路返回，进入干涉仪后与标准光发生干涉，形成条纹并被数字化分析，得到误差数据。