[发明专利]风机过滤单元

权利要求书

1.一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：

壳体,所述壳体为长方体中空结构，壳体的正面开设有出风口；

第一过滤器,用于过滤气流中的颗粒物，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处，所述出风口的尺寸与第一过滤器尺寸相匹配；以及

空腔,所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；

其特征在于，所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装位上设有离心风机，靠近离心风机进气端的壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气流至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。

2.根据权利要求1所述的风机过滤单元，其特征在于，所述第一过滤器与所述壳体之间通过阶梯状的支撑骨架固定连接，所述支撑骨架包括第一凸台和第二凸台，所述第一凸台的长度与所述第一过滤器的厚度相匹配。

3.根据权利要求2所述的风机过滤单元，其特征在于，所述第一过滤器与所述壳体之间还设有第二过滤器，所述第二过滤器安装在所述支撑骨架的第二凸台上，所述第二凸台的长度与所述第二过滤器的厚度相匹配。

4.根据权利要求2所述的风机过滤单元，其特征在于，所述第一过滤器与支撑骨架之间设有密封垫。

5.根据权利要求4所述的风机过滤单元，其特征在于，所述密封垫为柔性件。

6.根据权利要求1～5任一所述的风机过滤单元，其特征在于，所述第一过滤器的出风侧固定连接至少一块均流板，所述均流板上设有若干个供气流通过的通孔。

7.根据权利要求1～5任一所述的风机过滤单元，其特征在于，所述离心风机与所述壳体之间设有减震装置。

8.根据权利要求7所述的风机过滤单元，其特征在于，所述减震装置包括安装板和减震垫，所述安装板和减震垫上均设有与离心风机出风口相匹配的通孔，所述离心风机的出风口处依次固定连接安装板及减震垫。

9.根据权利要求1所述的风机过滤单元，其特征在于，所述空腔的顶部设有至少一个用于向空腔补充洁净的气流的补气进气口。

10.根据权利要求9所述的风机过滤单元，其特征在于，所述进气口末端固定连接用于降低气流噪音的消音器。