[发明专利]包括用于产生流体射流的喷嘴的半导体丝锯

权利要求书

1.一种半导体丝锯(1)，包括：

支持件(150)，所述支持件(150)用于保持半导体工件；

丝线导向器(160)，所述丝线导向器(160)用于形成丝网(170)，所述丝网(170)用于锯切所述工件；

喷嘴(100)，所述喷嘴(100)用于产生流体射流(190)，所述流体射流(190)可引导到所述丝网(170)处，其特征在于：

所述喷嘴(100)包括出口管(112)，所述出口管(112)具有宽度(202)和深度(203)，其中：

所述出口管(112)的所述宽度(202)和长度(201)与所述出口管(112)的面积剖面(250)相符；其中：

(a)所述深度和所述宽度的比率大于3.5；和/或

(b)所述出口管(112)进一步包括多个表面部分(310)，所述表面部分(310)用于在切削液中提供剪切应力，其中，所述表面部分(310)设置在所述出口管(112)的所述面积剖面(250)的内部区域中。

2.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯，其特征在于：

每一表面部分(310)沿着所述出口管(112)的流动方向(260)延伸。

3.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯，其特征在于：

所述表面部分(310)包括沿着所述出口管(112)的流动方向(260)延伸的表面，诸如平坦的表面。

4.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述表面部分(310)是配置以使得沿着所述表面部分(310)的最大面积部分的流动方向平行于所述出口管(112)的流动方向(260)。

5.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：

所述出口管的流动方向(260)是在所述出口管中的所述切削液的平均流动方向。

6.如权利要求5所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述出口管的所述流动方向(260)均匀地分布在所述出口管内；以及所述出口管(112)的所述面积剖面(250)垂直于所述出口管(112)的所述流动方向。

7.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯，其特征在于：所述表面部分(310)包括多个鳍片。

8.如权利要求7所述的半导体丝锯，其特征在于：所述多个鳍片中的鳍片具有以下特征中的一个或多个特征：

a)所述鳍片具有从1mm到20mm的平均间距；

b)所述鳍片具有从2mm到8mm的平均间距；

c)所述鳍片是均匀间隔的；

d)所述鳍片彼此平行；

e)所述鳍片是平坦的；以及，

f)所述鳍片设置成波形、平行线、正弦形的或者三角形的剖面。

9.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴(100)进一步包括喷嘴入口(110)，所述喷嘴入口(110)用于将所述切削液接收进喷嘴主腔室(113)内。

10.如权利要求9所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴主腔室(113)直接通往所述出口管(112)。

11.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴(100)是单一腔室喷嘴，用于将所述切削液引导到所述出口管(112)。

12.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴(100)的主腔室(113)没有回旋通道。

13.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴(100)没有回旋通道。

14.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述喷嘴(100)适用于产生切削液帘。

15.如任何先前权利要求所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述出口管(112)包括挤压件。

16.如权利要求15所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述出口管(112)主要地或者完全地是所述挤压件。

17.如权利要求15或16所述的半导体丝锯(1)，其特征在于：所述挤压件包括聚丙烯。