[发明专利]太阳能电池的制造方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

(A)准备具有p型的导电型的硅基板(4)的工序；

(B)在所述硅基板的主面形成钝化膜(5)的工序；以及

(C)利用形成有所述钝化膜的所述硅基板来制作太阳能电池的工序，

所述工序(B)包括：

(B-1)将含有铝元素的溶液(14)雾化的工序；以及

(B-2)通过在大气中向所述硅基板的所述主面雾状喷出所述雾化后 的所述溶液，从而形成氧化铝膜即所述钝化膜的工序。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述工序(B-2)是向所述硅基板供给臭氧从而形成所述钝化膜的工 序。