[发明专利]检查装置以及检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及检查装置以及检查方法，特别涉及具备三维计测部的检查装置以及检查方法。

背景技术

以往，已知具备三维计测部的检查装置。这样的检查装置例如已公开于日本特开2011-149736号公报。

在上述日本特开2011-149736号公报中，公开了外观检查装置(检查装置)，具备照射三维计测用的第一光的投射单元和二维计测用的照明单元，且检查安装有电子元件的基板。另外，该外观检查装置具备拍摄利用分别从投射单元以及照明单元照射的光拍摄的图像的拍摄单元以及控制部。另外，控制部构成为，进行三维计测，并且基于三维计测的结果，自动地设定检查检查对象部位的检查窗口(检查区域)。另外，认为该外观检查装置构成为，在自动地设定检查窗口之后，对与为了设定检查窗口而进行了三维计测的基板不同的基板，使用该检查窗口来进行二维计测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-149736号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在上述日本特开2011-149736号公报的外观检查装置中，能够自动地设定检查检查对象部位时的检查窗口，另一方面，由于进行与为了设定检查窗口而进行了三维计测的基板不同的基板的二维计测，因此在进行二维计测时，存在所设定的检查窗口与检查对象部位发生偏移的情况，在该情况下，存在无法高精度地进行二维计测(检查)这样的问题。

本发明是为了解决上述这样的问题而作出的，本发明的一个目的在于提供即使在所设定的检查区域与检查对象部位发生偏移的情况下也能够高精度地进行二维计测(检查)的检查装置以及检查方法。

用于解决课题的技术方案

本发明的第一方面的检查装置具备：三维计测部，能够取得检查对象部位的高度信息；二维计测部，能够取得色相、色度、亮度中的至少一个信息和检查对象部位的形状的信息；及控制部，进行三维计测，并且基于三维计测的结果来校正检查检查对象部位的检查区域，并在校正后的检查区域进行二维计测，该三维计测的结果基于通过三维计测取得的高度信息而取得且表示检查对象部位的形状，控制部构成为进行如下控制：对比三维计测的结果与二维计测的结果，并基于对比结果来确定是否判别检查对象部位的状态，或者，在三维计测的结果与二维计测的结果不同的情况下不考虑三维计测的结果中的与二维计测的结果不同的结果来判别检查对象部位的状态、或通过使用二维计测的结果来校正三维计测的结果中的与二维计测的结果不同的结果来判别检查对象部位的状态，其中该二维计测的结果通过二维计测而取得且表示检查对象部位的形状。

在本发明的第一方面的检查装置中，如上所述，设置控制部，该控制部基于三维计测的结果来校正检查检查对象部位的检查区域，并在校正后的检查区域进行二维计测，从而即使在所设定的检查区域与检查对象部位的位置发生偏移的情况下，也能够以使发生偏移的检查区域与检查对象部位的位置对齐的方式进行调整。由此，能够抑制在检查区域与检查对象部位的位置发生偏移的状态下进行二维计测的情况，因此能够高精度地进行二维计测(检查)。

在上述第一方面的检查装置中，优选的是，控制部构成为，基于三维计测的结果来校正规定检查区域的检查框坐标，并基于校正后的检查框坐标来进行二维计测。若如此构成，则即使在所设定的检查区域与检查对象部位的位置发生偏移的情况下，也能够使用规定检查区域的检查框坐标，以使发生偏移的检查区域与检查对象部位的位置对齐的方式容易地进行调整。

在上述第一方面的检查装置中，优选的是，该检查装置还具备：第一照明部，能够照射能够取得检查对象部位的高度信息的三维计测用的第一光；第二照明部，能够照射能够取得色相、色度、亮度中的至少一个信息的二维计测用的第二光；及摄像部，能够分别使用第一照明部的第一光和第二照明部的第二光来拍摄检查对象部位，控制部构成为，使用从第一照明部照射的第一光来进行三维计测，并且基于三维计测的结果来校正检查检查对象部位的检查区域，在校正后的检查区域使用从第二照明部照射的第二光来进行二维计测。若如此构成，则通过设有第一照明部、第二照明部以及摄像部的简易的结构，即使在所设定的检查区域与检查对象部位的位置发生偏移的情况下，也能够以使发生偏移的检查区域与检查对象部位的位置对齐的方式进行调整。