[发明专利]磁传感器装置以及旋转编码器

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用了形成于基板的感磁膜的磁传感器装置以及具有该磁传感器装置的旋转编码器。

背景技术

在检测旋转体相对于固定体的旋转的旋转编码器中，例如设置有一种在旋转体侧设置磁铁，在固定体侧具有磁阻元件或者霍尔元件的磁传感器。在这种磁传感器装置中的例如具有磁阻元件的磁传感器装置中，在基板的一面形成有由磁阻膜构成的感磁膜，基于从由感磁膜构成的两相(A相以及B相)的桥接电路输出的输出检测旋转体的角度速度或者角度位置等。(例如，参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－118000号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

用于在磁传感器装置中使用的磁阻元件或者霍尔元件的感磁膜的电阻值随温度的变化而变化。另外，在用于磁阻元件的磁阻膜使用坡莫合金的情况下，与使用锑化铟(InSb)和砷化铟(InAs)等半导体材料的情况相比，虽然因温度导致的电阻变化较小，但是若温度变化，电阻值也会变动。但是，在通过感磁膜构成桥接电路的情况下，即使在各感磁膜中因温度变化导致电阻值发生变化，若这些变化相等，则输出也应该不发生变化。

然而，获得了如下见解：在利用了形成于基板的感磁膜的磁传感器装置中，例如，即使在通过感磁膜构成桥接电路的情况下，若温度变化，则检测误差也会变大。该原因尚不明确，但是推测是伴随温度变化产生的膨胀收缩在基板等与感磁膜之间不同而导致的应力因各感磁膜不同的影响、以及在基板形成感磁膜时的各感磁膜的膜质的差异导致的影响。

鉴于以上问题，本发明的技术问题是提供一种即使环境温度发生变化也能够获得稳定的检测精度的磁传感器装置以及具有该磁传感器装置的旋转编码器。

用于解决技术问题的方法

为了解决上述技术问题，本发明所涉及的磁传感器装置的特征在于，具有：基板；感磁区域，所述感磁区域形成于所述基板，且所述感磁区域具有构成桥接电路的感磁膜；温度监测用电阻膜，所述温度监测用电阻膜形成于所述基板；以及加热用电阻膜，其形成于所述基板。

在本发明中，在形成有感磁膜的基板形成温度监测用电阻膜以及加热用电阻膜。因此，若通过温度监测用电阻膜的电阻值来监测与设定温度的温度差和温度变化，并根据监测结果向加热用电阻膜供电，则能够将感磁膜加热至设定温度。因此，若以通过设定温度获得较高的精度的方式设定感磁膜的电阻平衡，则即使发生温度变化，也能够获得稳定的检测精度。

在本发明中，优选所述感磁膜、所述温度监测用电阻膜以及所述加热用电阻膜形成于所述基板的一面侧。通过该结构，与利用基板的两面的情况相比，由于将成膜等在基板的一面侧进行即可，因此具有容易制造的这一优点。

在本发明中，优选在俯视观察时，所述加热用电阻膜形成为包围所述感磁区域的闭环状。通过该结构，能够适当地加热感磁区域整体。

在本发明中，优选所述温度监测用电阻膜是不表现磁阻效应的导电膜。通过该结构，即使磁通密度相对于温度监测用电阻膜变化，也能够准确地监测温度。

在本发明中，优选所述加热用电阻膜与所述感磁膜形成于所述基板的面内方向中偏离的区域，在俯视观察时不重叠，所述加热用电阻膜与所述温度监测用电阻膜形成于所述基板的面内方向中偏离的区域，在俯视观察时不重叠。通过该结构，能够防止加热用电阻膜与感磁膜的短路、加热用电阻膜与温度监测用电阻膜的短路等。并且，由于加热用电阻膜与感磁膜在俯视观察时不重叠，因此防止了局部加热感磁膜。并且，由于加热用电阻膜与温度监测用电阻膜不重叠，因此不会局部加热温度监测用电阻膜，所以能够恰当地向加热用电阻膜供电。

在本发明中，优选在俯视观察时，所述温度监测用电阻膜形成于所述加热用电阻膜与所述感磁区域之间。通过该结构，能够通过温度监测用电阻膜恰当地监测感磁区域的温度。

在本发明中，能够采用所述感磁膜与所述加热用电阻膜隔着绝缘膜形成于不同的层的结构。通过该结构，便于通过不同种类的膜形成感磁膜和加热用电阻膜。

在本发明中，能够采用所述感磁膜与所述温度监测用电阻膜隔着绝缘膜形成于不同的层的结构。通过该结构，便于通过不同种类的膜形成感磁膜和温度监测用电阻膜。

在本发明中，优选所述温度监测用电阻膜与所述加热用电阻膜形成于同一层。通过该结构，便于通过相同种类的膜构成温度监测用电阻膜和加热用电阻膜。