[发明专利]磁传感器装置以及旋转编码器

权利要求书

1.一种磁传感器装置，其特征在于，包括：

基板；

感磁区域，其形成于所述基板，且所述感磁区域具有构成桥接电路的感磁膜；

温度监测用电阻膜，其形成于所述基板；以及

加热用电阻膜，其形成于所述基板。

2.根据权利要求1所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述感磁膜、所述温度监测用电阻膜以及所述加热用电阻膜形成于所述基板的一面侧。

3.根据权利要求1或者2所述的磁传感器装置，其特征在于，

在俯视观察时，所述加热用电阻膜形成为包围所述感磁区域的闭环状。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述温度监测用电阻膜是不表现磁阻效应的导电膜。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述加热用电阻膜与所述感磁膜形成于在所述基板的面内方向中偏离的区域，在俯视观察时不重叠，

所述加热用电阻膜与所述温度监测用电阻膜形成于在所述基板的面内方向中偏离的区域，在俯视观察时不重叠。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

在俯视观察时，所述温度监测用电阻膜形成于所述加热用电阻膜与所述感磁区域之间。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述感磁膜与所述加热用电阻膜隔着绝缘膜形成于不同的层。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述感磁膜与所述温度监测用电阻膜隔着绝缘膜形成于不同的层。

9.根据权利要求7或者8所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述温度监测用电阻膜与所述加热用电阻膜形成于相同的层。

10.根据权利要求8或者9所述的磁传感器装置，其特征在于，

在所述感磁膜、所述温度监测用电阻膜以及所述加热用电阻膜中，所述感磁膜形成于最靠所述基板一侧的层。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述磁传感器装置具有温度控制部，所述温度控制部基于所述温度监测用电阻膜的电阻变化控制向所述加热用电阻膜的供电。

12.一种旋转编码器，其具有权利要求1至11中任一项所述的磁传感器装置，其特征在于，

所述旋转编码器具有磁铁，所述磁铁的与所述基板对置的磁化面被磁化了一个N极和一个S极，

基于通过所述桥接电路获得的A相和B相这两相输出，检测所述基板与所述磁铁的相对角度位置。

13.根据权利要求12所述的旋转编码器，其特征在于，

所述桥接电路基于通过所述感磁膜检测出的所述磁化面的面内方向的磁场变化的结果，生成所述两相输出。