[发明专利]在注油过程期间防止玻璃粒子注入

说明书

技术领域

本发明涉及机电系统(EMS)和装置，且更特定来说，本发明涉及防止粒子进入EMS显示装置。

背景技术

机电系统(EMS)包含具有电和机械元件、致动器、感测器、传感器、光学组件(例如镜和光学膜)和电子装置的装置。可依各种尺度(其包含(但不限于)微尺度和纳米尺度)制造EMS装置或元件。例如，微机电系统(MEMS)装置可包含具有在约1微米到数百微米或更大范围内的大小的结构。纳机电系统(NEMS)装置可包含小于1微米的大小(其包含(例如)小于数百纳米的大小)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻和/或其它微机械加工过程(其蚀除衬底和/或经沉积材料层的部分，或添加若干层以形成电装置和机电装置)来产生机电元件。

并入有MEMS光调制器的装置可包含数百、数千或在一些情况中数百万个移动元件。当一装置中的移动元件失效时，所述装置最终无法适当运行。移动元件失效的一个原因是静摩擦。在一些装置中，元件的每一移动给静摩擦提供机会以使元件的一或多者失效。通过使所有部件浸入工作流体(也称为流体)中且将所述流体密封于MEMS单元的流体空间或间隙内而促进此移动且减少静摩擦。所述流体通常为长期具有低摩擦系数、低粘度和最小降级效应的流体。识别数千或数百万个移动元件的各种失效原因且降低失效率可增加装置寿命。

尽管此流体可有助于减少摩擦以增加装置寿命，但所述流体也会产生问题。例如，脏流体可引入沉积于装置的移动部件内的粒子以及其它问题。

因而，仍需要改进可移动EMS装置的寿命的系统和方法。

发明内容

本发明的系统、方法和装置各具有若干创新方面，其中的单一者不单独负责本文中所揭示的所要属性。

本发明中所描述的标的物的一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含：板；衬底，其支撑至少一机电系统(EMS)装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间且具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，所述元件界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

在一些实施方案中，所述元件可包含形成于衬底上的多个相邻柱，且所述柱经横向隔开以提供所界定的间隙。在一些实施方案中，所述元件可包含一体地形成于衬底的表面和板的表面的至少一者上以形成障壁的一部分的间隔件。所述元件可包含至少两个壁，其经隔开以形成通道以抵着至少一壁而导引所接收流体的流。

在一些实施方案中，所述元件可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁。所述第一壁与所述第二壁之间的间隔可界定间隙。在一些实施方案中，所述元件包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成以至少一端口为中心的同心壁。

本发明中所描述的标的物的另一创新方面可实施于一种制造填充流体装置的方法中，所述方法包含：提供板；提供衬底，其中所述衬底具有机电系统(EMS)装置，且其中所述板和所述衬底的至少一者包含过滤器，且通过在所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上提供一体形成的过滤器元件，且将所述过滤器元件定位于所述衬底或所述板的外围边缘附近，且使所述过滤器元件间隔以界定经设定大小以抑制碎屑通过所述过滤器元件的间隙而形成所述过滤器。在一些实施方案中，碎屑可包含任何非流体粒子。

在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在衬底上形成多个柱。在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在板的表面上一体地形成间隔件。所述间隔件接触衬底和形成于衬底上的至少一间隔件的至少一者。形成所述间隔件可包含：形成至少两个壁以形成具有转弯以抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道。在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在板上形成第一壁和在衬底上形成第二壁，且当将板与衬底接合时，所述第一壁和所述第二壁经横向相邻地安置以形成障壁。

本发明的标的物的另一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含：板；衬底，其支撑形成于其上的至少一机电系统(EMS)装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在所述板与所述衬底之间界定腔和用于接收到所述腔中的流体的至少一端口；以及用于过滤在所述至少一端口处注入到所述腔中的所述流体的装置。用于过滤的所述装置一体地形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上，且用于过滤的所述装置抑制所述流体中的非流体粒子进入所述至少一EMS装置。