[发明专利]在注油过程期间防止玻璃粒子注入

权利要求书

1.一种设备，其包括：

板；

衬底，其支撑至少一机电系统EMS装置；

密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及

过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间，且具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述衬底上且经横向隔开以提供所述所界定的间隙的多个相邻柱。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含一体地形成于所述衬底的所述表面和所述板的所述表面的至少一者上以形成障壁的一部分的间隔件。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含至少两个壁，所述至少两个壁经隔开以形成抵着至少一壁而导引所述所接收流体的流的通道。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成以所述至少一端口为中心的同心壁。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一EMS装置包含液晶和微机电系统MEMS组件的至少一者。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述MEMS组件选自遮光器、镜和微流体组件的群组。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述所界定的间隙具有约至少1微米的宽度。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述板和所述衬底形成显示器，且所述设备进一步包括：

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

11.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一信号发送到所述显示器；以及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

12.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器和发射器的至少一者。

13.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传达到所述处理器。

14.一种制造流体填充装置的方法，其包括：

提供板；

提供衬底，其中所述衬底具有机电系统EMS装置；

其中所述板和所述衬底的至少一者包含过滤器，且通过下列操作而形成所述过滤器：在所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上提供经一体形成的过滤器元件；以及将所述过滤器元件定位于所述衬底或所述板的外围边缘附近；以及使所述过滤器元件间隔以界定间隙，所述间隙经设定大小以抑制碎屑通过所述过滤器元件。

15.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述衬底上形成多个柱。

16.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述板的所述表面上一体地形成间隔件，其中所述间隔件接触所述衬底和形成于所述衬底上的至少一间隔件的至少一者。

17.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述间隔件包含：形成至少两个壁以形成具有转弯以抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道。

18.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述板上形成第一壁和在所述衬底上形成第二壁，其中当将所述板与所述衬底接合时，所述第一壁和所述第二壁经横向相邻安置以形成障壁。