[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)包含(a1)具有酸基的重复单元、(a2)具有交联性基的重复单元及(a3)源自选自(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、丙烯酰基吗啉及(甲基)丙烯酸正月桂酯所组成的群组中至少一种的化合物的重复单元的聚合物；

(B)醌二叠氮化合物；以及

(C)在1分子内具有包含配位原子的结构及硫脲结构的化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述(C)成分是包含至少一个以上的氮原子作为所述配位原子的化合物。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述(C)成分为下述通式(S)所表示的化合物：

通式(S)

通式(S)中，R¹表示包含至少一个以上的氮原子的基团，A表示2价连结基，R²表示有机基。

4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为-NR³R⁴所表示的基团，其中R³及R⁴分别为有机基，可相互键结而形成环。

5.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为5元环或者6元环的环状基。

6.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为吗啉基。

7.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，在R²的末端具有烃基。

8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述重复单元(a1)为选自由具有羧基和酚性羟基的重复单元中的至少一种。

9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述重复单元(a2)含有包含选自由环氧基、氧杂环丁基以及-NH-CH₂-O-R所表示的基团所组成的组群中的至少一个的构成单元，其中R表示氢原子或者碳数1～20的烷基。

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中相对于所述感光性树脂组合物中的全部固体成分，所述感光性树脂组合物中的所述成分(B)的调配量超过10质量％且为40质量％以下。

11.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述感光性树脂组合物为正型感光性树脂组合物。

12.一种硬化膜的制造方法，其包括：

(1)将根据权利要求1至11中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的工序；

(2)从所涂布的所述感光性树脂组合物中去除溶剂的工序；

(3)利用光化射线对去除了溶剂的所述感光性树脂组合物进行曝光的工序；

(4)利用水性显影液对经曝光的所述感光性树脂组合物进行显影的工序；以及

(5)将经显影的所述感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤工序。

13.根据权利要求12所述的硬化膜的制造方法，其中在所述显影工序后且所述后烘烤工序前包括(6)将经显影的所述感光性树脂组合物进行全面曝光的工序。

14.根据权利要求12或13所述的硬化膜的制造方法，其包括对具有所述后烘烤工序中进行热硬化而获得的硬化膜的基板进行干式蚀刻的工序。

15.一种硬化膜，其利用根据权利要求12所述的硬化膜的制造方法而形成。

16.根据权利要求15所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。