[发明专利]保护膜形成用膜有效
| 申请号： | 201380064452.X | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104837942A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 佐伯尚哉;山本大辅;高野健 | 申请（专利权）人： | 琳得科株式会社 |
| 主分类号： | C09J7/00 | 分类号： | C09J7/00;H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王利波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保护膜 形成 | ||
1.一种保护膜形成用膜，其是具有第一表面和第二表面的固化性的保护膜形成用膜，其中，
固化后的第一表面对硅晶片的粘接力高于固化后的第二表面对硅晶片的粘接力。
2.根据权利要求1所述的保护膜形成用膜，其中，固化后的第一表面对硅晶片的粘接力与固化后的第二表面对硅晶片的粘接力之比(第一表面对硅晶片的粘接力/第二表面对硅晶片的粘接力)为1.2～100。
3.根据权利要求1或2所述的保护膜形成用膜，其中，第一表面被粘贴在待形成保护膜的被粘附物上。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的保护膜形成用膜，其中，第二表面被临时固定于支撑体上。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的保护膜形成用膜，其中，固化后的第二表面对硅晶片的粘接力为0.01～100N。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的保护膜形成用膜，其中，第二表面的探针粘性值为0.01～3N/5mmφ。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的保护膜形成用膜，其由组成不同的2层以上的树脂层构成。
8.根据权利要求7所述的保护膜形成用膜，其中，至少包含第二表面的树脂层含有剥离剂，且包含第二表面的树脂层中剥离剂的含量高于包含第一表面的树脂层中剥离剂的含量。
9.根据权利要求8所述的保护膜形成用膜，其中，
相对于构成包含第一表面的树脂层的全部固体成分中除剥离剂以外的固体成分100质量份，包含第一表面的树脂层中剥离剂的含量为0～0.001质量份，
相对于构成包含第二表面的树脂层的全部固体成分中除剥离剂以外的固体成分100质量份，包含第二表面的树脂层中剥离剂的含量为0.001～20质量份。
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