[发明专利]具有挡帘组件的离子源及离子植入机

权利要求书

1.一种离子源，其特征在于包括：

电弧室外壳，界定电弧室，所述电弧室外壳在固定位置上具有提取板，所述提取板界定多个提取孔；以及

挡帘组件，被安装于所述电弧室外侧的靠近所述提取板处，所述挡帘组件被配置以于一时间间隔期间阻挡所述多个提取孔中的一者的至少一部分。

2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于所述挡帘组件包括多个挡帘，所述多个挡帘中的每一个被配置以控制来自所述多个提取孔中的相关联的提取孔的离子束的提取。

3.根据权利要求2所述的离子源，其特征在于所述挡帘组件包括：第一挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔中的第一提取孔的第一离子束的提取；第二挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔的第二提取孔中的第二离子束的提取；以及第三挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔的第三提取孔中的第三离子束的提取，其中所述第一挡帘、所述第二挡帘以及所述第三挡帘中的每一个为可受独立控制且安装于所述提取板的1毫米内。

4.根据权利要求3所述的离子源，其特征在于所述第一挡帘被安装以能够于第一时间间隔期间自所述第一提取孔提取所述第一离子束，而所述第二挡帘被安装以于所述第一时间间隔期间阻挡所述第二离子束整体且所述第三挡帘被安装以于所述第一时间间隔期间阻挡所述第三离子束整体。

5.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于所述挡帘组件包括单一通用挡帘板，界定挡帘开口；以及制动器，被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第一位置，以能够于第一时间间隔期间自所述多个开口中的第一提取孔提取第一离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。

6.根据权利要求5所述的离子源，其特征在于所述制动器更被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第二位置，以能够于第二时间间隔期间自所述多个开口中的第二提取孔提取第二离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。

7.根据权利要求6所述的离子源，其特征在于所述制动器更被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第三位置，以能够于第三时间间隔期间自所述多个开口中的第三提取孔提取第三离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。

8.一种离子植入机，其特征在于包括：

离子源，具有界定电弧室的电弧室外壳，所述电弧室外壳在固定位置上具有提取板，所述提取板界定多个提取孔；

挡帘组件，被安装于电弧室外侧的靠近所述提取板处，所述挡帘组件被配置以于一时间间隔期间阻挡所述多个提取孔中的一者的至少一部分；以及

处理室，具有工件保持器，且所述工件保持器被配置以保持工件并将所述工件相对于自所述多个提取孔的所述一者的所述至少一部分提取的离子束移动，以于所述工件上建立二维离子植入图案，所述工件保持器在所述挡帘组件的下游并与所述挡帘组件间隔一距离。

9.根据权利要求8所述的离子植入机，其特征在于所述工件包括选择性发射极太阳能电池。

10.根据权利要求8所述的离子植入机，其特征在于所述挡帘组件包括多个挡帘，所述多个挡帘中的每一个被配置以控制来自所述多个提取孔中的相关联的提取孔的离子束的提取。

11.根据权利要求10所述的离子植入机，其特征在于所述挡帘组件包括：第一挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔中的第一提取孔的第一离子束的提取；第二挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔中的第二提取孔的第二离子束的提取；以及第三挡帘，被配置以控制来自所述多个提取孔中的第三提取孔的第三离子束的提取，其中所述第一挡帘、所述第二挡帘以及所述第三挡帘中的每一个为可受独立控制且安装于所述提取板的1毫米内。

12.根据权利要求8所述的离子植入机，其特征在于所述挡帘组件包括单一通用挡帘板，界定挡帘开口；以及制动器，被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第一位置，以能够于第一时间间隔期间自所述多个开口中的第一提取孔提取第一离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。

13.根据权利要求12所述的离子植入机，其特征在于所述制动器更被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第二位置，以能够于第二时间间隔期间自所述多个开口中的第二提取孔提取第二离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。

14.根据权利要求13所述的离子植入机，其特征在于所述制动器更被配置以将所述单一通用挡帘板相对于所述提取板移动至第三位置，以能够于第三时间间隔期间自所述多个开口中的第三提取孔提取第三离子束而阻挡其余的所述多个提取孔。