[发明专利]用于在衬底上进行垂直金属电流沉积的装置

权利要求书

1.一种用于在衬底上进行垂直金属、优选地为铜电流沉积的装置，其特征在于

所述装置包括彼此平行地以垂直方式布置的至少第一装置元件及第二装置元件，其中所述第一装置元件包括具有多个贯通导管的至少第一阳极元件及具有多个贯通导管的至少第一载体元件，其中所述至少第一阳极元件与所述至少第一载体元件彼此牢固地连接；且其中所述第二装置元件包括适于接纳至少第一待处理衬底的至少第一衬底固持器，其中所述至少第一衬底固持器在接纳所述至少第一待处理衬底之后沿着其外框架至少部分地包围所述至少第一待处理衬底；且其中所述至少第一装置元件的所述第一阳极元件与所述第二装置元件的所述至少第一衬底固持器之间的距离介于从2mm到15mm的范围内。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述至少第一待处理衬底为：圆的、优选地圆形；或有角的、优选地多角，例如矩形、方形或三角形；或圆与有角结构元件的混合，例如半圆形；及/或其中在圆结构的情况中，所述至少第一待处理衬底具有介于从50mm到1000mm、优选地从100mm到700mm且更优选地从120mm到500mm的范围内的直径；或在有角、优选地多角结构的情况中，所述至少第一待处理衬底具有介于从10mm到1000mm、优选地从25mm到700mm且更优选地从50mm到500mm的范围内的边长，及/或其中所述至少第一待处理衬底为印刷电路板、印刷电路箔片、半导体晶片、太阳能电池、光电电池或监视器单元。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述装置进一步包括第三装置元件，所述第三装置元件以使得所述第二装置元件布置于所述第一装置元件与所述第三装置元件之间的方式平行于所述第一装置元件及所述第二装置元件以垂直方式布置，其中所述第三装置元件包括具有多个贯通导管的至少第一阳极元件及具有多个贯通导管的至少第一载体元件，其中所述至少第一阳极元件与所述至少第一载体元件彼此牢固地连接；且其中所述至少第三装置元件的所述第一阳极元件与所述第二装置元件的所述至少第一衬底固持器之间的距离介于从2mm到15mm的范围内。

4.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于所述第一装置元件及/或所述第三装置元件进一步包括具有多个贯通导管的掩蔽元件，所述掩蔽元件以可拆卸方式连接到所述第一装置元件及/或所述第三装置元件的所述至少第一阳极元件，且优选地也以可拆卸方式连接到所述第一装置元件及/或所述第三装置元件的所述至少第一载体元件，其中所述多个贯通导管在所述掩蔽元件的表面上的分布为均匀或非均匀的。

5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于所述第一装置元件及/或所述第三装置元件的所述第一载体元件在指向所述至少第一阳极元件的前表面上进一步包括多个突出部，其中所述突出部优选地以使得所述第一载体元件的所述突出部的表面与所述第一阳极元件的表面对准的方式装配到所述第一阳极元件的所述贯通导管中；且其中所述第一载体元件的所述贯通导管线性延长穿过所述全部突出部。

6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于所述装置进一步包括用以沿平行于所述待处理衬底的经处理侧的方向产生在一侧上的所述第二装置元件与在另一侧上的所述第一装置元件及/或所述第三装置元件之间的相对移动的构件。

7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于所述第一装置元件及/或所述第三装置元件的所述第一阳极元件包括至少两个分段，其中每一阳极元件分段可被彼此分开地电控制及/或调节；及/或其中包括不具有贯通导管的阳极分段、优选地最外部阳极分段及/或在阳极分段的内侧、优选地在所述最外部阳极分段的内侧的外部区域及/或围绕所述第一阳极元件的中心的区域。

8.根据前述权利要求中任一权利要求所述的装置，其特征在于所述第一装置元件及/或所述第三装置元件的所述第一阳极元件的所述多个贯通导管以相对于所述第一阳极元件表面上的垂线具有介于0°与80°之间、优选地介于10°与60°之间且更优选地介于25°与50°之间或为0°的角度的直线的形式贯通所述第一阳极元件。