[发明专利]辊子

权利要求书

1.一种辊子，用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：

传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及

处理区，其安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜，

其中所述辊子具有这样的结构：所述辊子的端部的直径大于其中央部分的直径，或不存在中央部分，以便在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触。

2.一种辊子，用作薄膜形成装置的导辊，所述薄膜形成装置包括：传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及处理区，所述处理区安装为在由所述传送单元所传送的所述基板的表面上形成薄膜，所述辊子包括：

供给单元，其配置为在所述基板的传送处理期间将前驱体供给至所述基板。

3.根据权利要求1所述的辊子，其中其两端部的直径都大于中央部分的直径。

4.根据权利要求1或2所述的辊子，其中在端部设置被配置为在所述基板的传送处理期间固定所述基板的固定单元。

5.根据权利要求4所述的辊子，其中所述端部安装为向所述基板施加张力并且固定所述基板。

6.根据权利要求1或2所述的辊子，其中所述端部形成为能够在相对于所述基板的传送方向成70°至110°的角度范围内的一个方向上移动。

7.根据权利要求1或2所述的辊子，其中所述端部具有突出图案，所述突出图案形成为在所述基板的传送处理期间向所述基板施加张力。

8.根据权利要求7所述的辊子，其中所述突出图案包括线形，所述线形相对于所述基板的传送方向形成大于0°且小于90°的角度。

9.根据权利要求2所述的辊子，其中所述辊子具有这样的结构：所述辊子的端部的直径大于其中央部分的直径，或不存在中央部分，以便在与所述基板的传送方向垂直的方向上与所述基板的两端部相接触，但不与所述基板的其他部分相接触，并且

所述供给单元形成在所述中央部分处或所述端部的内侧表面上。

10.根据权利要求9所述的辊子，其中所述前驱体是通过侧表面注入的，并且所注入的前驱体是通过喷洒孔而喷洒的。

11.一种薄膜形成装置，包括：

传送单元，其包括一个或多个导辊，所述导辊安装为传送基板；以及

处理区，其安装为在由所述传送单元所传送的基板的表面上形成薄膜，

其中至少一个所述导辊是根据权利要求1或2所述的辊子。

12.根据权利要求11所述的装置，其中所述处理区安装为通过原子层沉积方式在所述基板上形成薄膜。

13.根据权利要求11所述的装置，其中所述处理区包括第一区及第二区，所述第一区及第二区分别安装为在所述基板上形成前驱体的层；并且

一个或多个导辊设置在第一区及第二区中的每个区中，因而形成路径，所述基板通过所述路径依序穿过所述第一区及第二区。

14.根据权利要求13所述的装置，还包括排放单元，所述排放单元配置为排放所述第一区或第二区中的前驱体。

15.根据权利要求13所述的装置，其中所述传送单元安装为使所述基板能够多次穿过所述第一区及第二区。

16.根据权利要求13所述的装置，还包括第三区，所述第三区安装为使惰性气体或前驱体能够供给至第三区中，

其中所述第三区与所述第一区或第二区连接，所述传送单元形成为能够使所述基板依序穿过所述第一区、所述第三区、所述第二区，或依序穿过所述第二区、所述第三区及所述第一区。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述传送单元安装为使所述基板能够每次经由所述第三区而多次穿过第一区及第二区。

18.根据权利要求13所述的装置，其中传送单元包括设置在所述第一区中的多个第一导辊及设置在所述第二区中的多个第二导辊，并且

至少一部分所述第一导辊形成为改变所述基板的路径朝向所述第二区，并且至少一部分所述第二导辊形成为改变所述基板的路径朝向所述第一区。

19.一种利用根据权利要求11所述的薄膜形成装置在基板上形成薄膜的方法。

20.根据权利要求19所述的方法，其中所述基板是由塑料膜、金属网或纤维膜所形成的。