[发明专利]信息记录介质用玻璃基板、信息记录介质用玻璃基板的制造方法以及制造装置

权利要求书

1.一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，

该制造方法具有对玻璃基板的表面进行研磨的研磨步骤，其中，

所述研磨步骤包括以下步骤：

将玻璃基板和托架配置在太阳齿轮与内啮合齿轮之间；

在使所述托架的外周与所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮这两者的齿面啮合的状态下，使用所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮使所述托架旋转，使所述玻璃基板相对于研磨垫的研磨面滑动接触，对所述玻璃基板的表面进行研磨，

所述太阳齿轮的全部齿面和/或所述内啮合齿轮的全部齿面包括凹部，所述凹部具有从齿尖起向相对于所述托架的旋转轴正交的方向凹陷的形状，当所述托架旋转时，所述托架的所述外周与所述凹部啮合，

设所述托架的节圆直径为DC(单位：m)、在相对于所述旋转轴正交的方向上的所述凹部的从所述齿尖算起的凹陷深度为d(单位：mm)，则0.24≦d/DC≦1.89的关系成立。

2.根据权利要求1所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

设在相对于所述旋转轴平行的方向上的所述凹部的宽度尺寸为TA、在相对于所述旋转轴平行的方向上的所述玻璃基板的厚度尺寸为TB，则TA＜TB的关系成立。

3.根据权利要求1或2所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法，其中，

所述凹部沿着圆周方向呈环状地形成连续的一个凹槽。

4.一种信息记录介质用玻璃基板，

所述信息记录介质用玻璃基板是使用权利要求1至3中的任意一项所述的信息记录介质用玻璃基板的制造方法制造出来的。

5.一种信息记录介质用玻璃基板的制造装置，该制造装置具有：

研磨垫；以及

太阳齿轮与内啮合齿轮，在它们之间配置有玻璃基板和托架，

所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮在使所述托架的外周与它们两者的齿面啮合的状态下使所述托架旋转，由此，使所述玻璃基板相对于所述研磨垫的研磨面滑动接触，对所述玻璃基板的表面进行研磨，

所述太阳齿轮的全部齿面和/或所述内啮合齿轮的全部齿面包括凹部，所述凹部具有从齿尖起向相对于所述托架的旋转轴正交的方向凹陷的形状，当所述托架旋转时，所述托架的所述外周与所述凹部啮合，

设所述托架的节圆直径为DC(单位：m)、在相对于所述旋转轴正交的方向上的所述凹部的从所述齿尖算起的凹陷深度为d(单位：mm)，则0.24≦d/DC≦1.89的关系成立。