[发明专利]机器人校正方法无效
申请号: | 201380059151.8 | 申请日: | 2013-09-10 |
公开(公告)号: | CN104781051A | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
发明(设计)人: | 杰森·M·夏勒;罗伯特·布然特·宝佩特;詹姆斯·R·麦克廉 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | B25J9/16 | 分类号: | B25J9/16 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 张洋;臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机器人 校正 方法 | ||
本申请案主张于2012年9月18日申请之美国临时专利申请案第61/702,377号的优先权,所述专利申请案的揭示完整结合于此以供参考。
技术领域
本发明涉及一种工件加工,尤其涉及一种用于工件加工的机器人的校正。
背景技术
离子布植是一种标准技术,将改变导电率的杂质引进工件中。所要的杂质材料在离子源中被离子化,离子被加速以形成规定能量的离子束,且离子束被导向工件的表面。离子束中的高能离子穿透进入工件材料的整体(bulk),且被嵌入到工件材料的晶格,以形成所要导电率的区域。
太阳能电池制造工业的两个考量是:生产产量及电池效率。电池效率是测量转换成电力的能量的数量。在太阳能电池制造工业中,可能需要较高的电池效率以维持竞争力。然而,不能因增加电池效率而牺牲生产产量。
离子布植已经被证实是对太阳能电池进行掺杂的可行方法。使用离子布植可移除现存技术中所需的制程步骤,如扩散炉。举例来说,如使用离子布植取代扩散炉,则可移除激光边缘绝缘步骤,因为离子布植只会掺杂所要表面。除了移除上述制程步骤之外,使用离子布植已证实具有较高的电池效率。离子布植也提供:进行太阳能电池整个表面的全面性布植(blanket implant)的能力,或者对太阳能电池的一部分的选择性(或图案化)布植的能力。使用离子布植的高产量选择性布植,避免了炉管扩散中所使用的:昂贵且费时的微影或图案化步骤。选择性布植也能够进行新的太阳能电池设计。离子布植机的生产量或可靠度的任何改良,对全球的太阳能电池制造商是有利的。可加速采用太阳能电池作为另一种替代能量来源。
发明内容
揭示一种机器人校正方法,将支架模组的坐标系统对准到摄影机系统的坐标系统。所述方法包括:使用对准工具,对准工具允许操作员放置工件在支架模组的已知位置。接着由摄影机系统获取这些工件的影像。控制器使用从支架模组及摄影机系统得到的信息,以决定两个坐标系统之间的关系。接着控制器决定一变换方程式,以从一坐标系统转换到另一个坐标系统。
根据第一实施例,揭示一种校正机器人的方法。所述方法包括:连接对准工具到机器人的末端作用器,其中末端作用器是支架模组的一部分,其中对准工具包含一个或多个空间,每一空间具有三个分别的指部;移动末端作用器到摄影机的视野内的第一位置;降下末端作用器;当末端作用器位在第一位置时,放置分别的工件在一个或多个空间,且同时推压每一工件以顶住(against)所述分别的三个指部;使用参照支架模组的坐标系统,对于位在第一位置的每一空间而储存第一组坐标位置;移动末端作用器,在视野内由第一位置移动到第二位置,而不影响工件的位置;当末端作用器位在第二位置时,放置分别的工件在一个或多个空间,且同时推压每一工件以顶住所述分别的三个指部;使用参照支架模组的坐标系统,对于位在第二位置的每一空间而储存第二组坐标位置;移动末端作用器,由第二位置移动到视野外的位置,而不影响工件的位置;在末端作用器移动到视野外的位置之后,使用摄影机获取工件的影像;使用参照摄影机的坐标系统,对于每一工件而决定第三组坐标位置;以及使用第一组坐标位置、第二组坐标位置及第三组坐标位置来计算一变换方程式,以将参照摄影机的坐标系统中的坐标位置、转换为参照支架模组的坐标系统中的坐标位置。
根据第二实施例,揭示一种校正机器人的方法。所述方法包括:进行光学标准化程序,以决定用于摄影机的垂直转换因子及水平转换因子,以便将由摄影机所获取的影像上的像素位置、转换成摄影机的视野内的物理尺寸(physical dimension);连接对准工具到机器人的末端作用器,其中末端作用器是支架模组的一部分,其中对准工具包含一个或多个空间,每一空间具有三个分别的指部;移动末端作用器到摄影机视野内的第一位置;降下末端作用器;当末端作用器位在第一位置时,藉由推压每一工件以顶住所述分别的三个指部,而在分别空间放置至少两个工件;使用参照支架模组的坐标系统,对于每一空间而储存第一组坐标位置;移动末端作用器,由第一位置移动到视野外的位置,而不影响工件的位置;在末端作用器移动到视野外的位置之后,使用摄影机获取工件的影像;使用参照摄影机的坐标系统,对于每一工件而决定第二组坐标位置;以及基于第一组坐标位置及第二组坐标位置,来计算一变换方程式,以将参照摄影机的坐标系统中的坐标位置、转换为参照支架模组的坐标系统的坐标位置。
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