[发明专利]用于估计及校正偏移目标不准确度的方法

权利要求书

1.一种用于产生适合于校准计量工具的一或多个比例因数的方法，其包括：

针对跨越衬底分布的多个测量位置中的每一测量位置获得多个计量测量信号，其中针对每一测量位置所获得的所述多个测量信号中的每一者是由计量工具在多个不同测量条件中的一者下测量所述测量位置而产生；

确定每一测量信号的测量计量值及一或多个质量优值；

利用所述测量计量值及所述质量优值来确定各对应于所述多个不同测量条件中的一者的比例因数；及

校准所述计量工具以在产生后续计量测量值时使用对应于用以测量后续目标的所述测量条件的所述比例因数。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：

比较对应于所述测量条件中的每一者的所述比例因数以确定哪一测量条件组合产生优化的测量配方；及

指导所述计量工具在后续计量测量中利用所述优化的测量配方。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述优化的测量配方使所述计量测量值中的不准确度的量最小化。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个测量条件为不同彩色滤光片。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个测量条件为不同焦点位置。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个测量条件为不同光偏振。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个测量条件为不同目标类型。

8.根据权利要求7所述的方法，其中每一测量位置包括位于最接近彼此处的多个目标类型。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述计量工具为覆盖工具。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述测量计量值为覆盖测量。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述计量工具为临界尺寸计量工具。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述测量计量值是通过散射测量而得出。

13.根据权利要求11所述的方法，其中所述测量计量值是通过椭圆对称而得出。

14.根据权利要求11所述的方法，其中所述测量计量值是通过CD-SEM而得出。

15.一种经配置以在网络上操作的计量工具，其包括：

处理器；

存储器，其耦合到所述处理器；

体现于存储器中以供所述处理器执行的一或多个指令，所述指令执行用于产生适合于校准所述计量工具的一或多个比例因数的方法，所述方法包括：

针对跨越衬底分布的多个测量位置中的每一测量位置获得多个计量测量信号，其中针对每一测量位置所获得的所述多个测量信号中的每一者是由计量工具在多个不同测量条件中的一者下测量所述测量位置而产生；

确定每一测量信号的测量计量值及一或多个质量优值；

利用所述测量计量值及所述质量优值来确定各对应于所述多个不同测量条件中的一者的比例因数；及

校准所述计量工具以在产生后续计量测量值时使用对应于用以测量后续目标的所述测量条件的所述比例因数。

16.一种非暂时性计算机可读媒体，其含有用于通过计量工具使比例因数与目标缺陷相关联的程序指令，且其中通过计算机系统的一或多个处理器来执行所述程序指令致使所述一或多个处理器进行以下步骤：

从具有已知缺陷的目标获得计量信号，其中所述计量工具使用具有第一已知的比例因数的第一测量条件来产生所述计量信号；

计算所述计量信号的一或多个质量优值；

使所述一或多个质量优值与所述比例因数的组合与所述已知缺陷相关联；及

将所述关联性存储于缺陷数据库中。