[发明专利]产生用于投射曝光设备的可用输出光束的EUV光源

权利要求书

1.产生用于投射光刻的投射曝光设备(1)的EUV照明光的可用输出光束(3)的EUV光源(2，53)，

-具有产生EUV原始输出光束(30)的EUV产生装置(2c)，

-其中，所述EUV原始输出光束(30)为圆形偏振(31)，

-具有偏振设定装置(32；39)，其关于偏振方向对所述原始输出光束(30)具有线性偏振效果，以设定所述可用输出光束(3)的偏振。

2.如权利要求1所述的EUV光源，

-具有电子束供应装置(2a)，

-其中，通过所述电子束供应装置(2a)给所述EUV产生装置(2c)供应电子束(2b)。

3.如权利要求1或2所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(32；39)具有在所述原始输出光束(30)的布鲁斯特入射角的范围内操作的至少一个EUV偏转反射镜(33，34；40，41，42)，其中，EUV偏转反射镜能够绕与所述原始输出光束(30)的入射轴线一致的轴线旋转，以用于旋转入射平面的目的。

4.如权利要求3所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(32；39)具有至少两个EUV偏转反射镜(33，34；40，41，42)，其中，在于所述偏振设定装置(32；39)的最后一个EUV偏转反射镜(34；42)处偏转之后，所述可用输出光束(3)在与所述原始输出光束(30)相同的方向上传播。

5.如权利要求4所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(32；39)具有正好两个EUV偏转反射镜(33，34)，其中，在于第二EUV偏转反射镜(34)处偏转之后，所述可用输出光束(3)平行于所述原始输出光束(30)传播。

6.如权利要求1或2所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(39)具有至少三个EUV偏转反射镜(40至42)，其中，在于第三EUV偏转反射镜(42)处偏转之后，所述可用输出光束(3)沿所述原始输出光束(30)的入射轴线(38)传播。

7.如权利要求1或2所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(39)具有EUV偏转棱镜(43)，所述EUV偏转棱镜的两个侧表面(40，42)充当反射镜表面。

8.如权利要求3所述的EUV光源，其特征在于，所述偏振设定装置(39)具有正好三个EUV偏转反射镜(40至42)，其中，所有三个EUV偏转反射镜(40至42)均在所述原始输出光束(30)的布鲁斯特入射角的范围内。

9.用于投射曝光设备的照明系统，

-具有如权利要求1所述的EUV光源(2；53)，

-具有照明光学单元(5)，所述照明光学单元用于使用所述可用输出光束(3)照明位于掩模母版平面(15)中的照明场(14)。

10.用于投射曝光设备的照明系统，

-具有EUV光源(2；53)，产生用于投射光刻的EUV照明光的可用输出光束(3)，

--具有产生EUV原始输出光束(30)的EUV产生装置(2c)，

--其中，所述EUV原始输出光束(30)为圆形偏振(31)的，

-具有照明光学单元(5)，用于使用所述可用输出光束(3)照明位于掩模母版平面(15)中的照明场(14)，

-其中，所述照明光学单元(5)具有偏振设定装置(44)，所述偏振设定装置关于偏振方向对所述EUV原始输出光束(30)具有线性偏振效果，以设定所述可用输出光束(3)的偏振。

11.如权利要求1所述的EUV光源(2；53)以及作为如权利要求9或10所述的照明系统的组件的EUV光源(2；53)，其特征在于，所述EUV光源(2；53)实施为具有切换单元(28)，所述切换单元用于在所述EUV原始输出光束(30)的圆形偏振和线性偏振之间切换。