[发明专利]光电转换元件

权利要求书

1.一种光电转换元件，包括：

第一导电型的半导体基板；

第一导电型的第一半导体膜，设置在所述半导体基板的一个表面上；

第二导电型的第二半导体膜，与所述第一半导体膜独立地设置在所述表面上；以及

介质膜，设置在所述半导体基板和所述第一半导体膜之间以及所述半导体基板和所述第二半导体膜之间的至少任一方，

在所述第一半导体膜上以及所述第二半导体膜上形成有金属间化合物层。

2.如权利要求1所述的光电转换元件，

在所述半导体基板的所述表面设置有槽，

在所述槽的底面设置有所述第二半导体膜。

3.如权利要求1所述的光电转换元件，

在所述半导体基板的一个表面上，所述第一半导体膜和所述第二半导体膜隔离而设置，

在所述第一半导体膜和所述第二半导体膜之间设置有绝缘膜。

4.如权利要求1至3的任一项所述的光电转换元件，

所述金属间化合物层是金属硅化物层以及金属锗化物层的至少任一个。

5.如权利要求4所述的光电转换元件，

所述金属锗化物层是由至少一种金属和锗构成的化合物层，该至少一种金属从由镍、钴以及钛构成的群中选择。