[发明专利]光固化性组合物及使用该组合物的膜的制造方法有效

专利信息
申请号: 201380048860.6 申请日: 2013-09-11
公开(公告)号: CN104662049B 公开(公告)日: 2020-06-02
发明(设计)人: 伊藤俊树;三原知恵子;川崎阳司 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: C08F2/48 分类号: C08F2/48;H01L21/768;H01L23/532;H05K3/10
代理公司: 北京魏启学律师事务所 11398 代理人: 魏启学
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光固化 组合 使用 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光压印用固化性组合物,其包括至少下列组分A至组分C:

A可聚合化合物,所述可聚合化合物包含(甲基)丙烯酸酯单体;

B光聚合引发剂;和

C由下列通式(1)表示的表面活性剂:

Rf1-Rc-X (1)

通式(1)中,Rf1表示仅由氟原子和碳原子组成并具有两个以上的三氟甲基的取代基,Rc表示聚环氧乙烷基团、聚环氧丙烷基团或亚烷基,和X表示羟基、羧基、磺基、氨基、烷氧基,或仅由氟原子和碳原子组成并具有两个以上的三氟甲基的取代基,条件是当X表示烷氧基或仅由氟原子和碳原子组成并具有两个以上的三氟甲基的取代基时,Rf1和X可彼此相同或不同,

其中所述固化性组合物具有28.2mN/m以上且35mN/m以下的在23℃下的表面张力,具有1cP以上且20cP以下的在23℃下的粘度,且所述固化性组合物实质上不含溶剂。

2.根据权利要求1所述的光压印用固化性组合物,其中所述表面活性剂包括由下列通式(2)和(3)之一表示的化合物:

在通式(2)和(3)中,n表示1以上的整数。

3.根据权利要求1或2所述的光压印用固化性组合物,其中所述聚合引发剂B包括2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮。

4.根据权利要求1所述的光压印用固化性组合物,其中所述可聚合化合物包括(2-甲基-2-乙基-1,3-二噁烷-4-基)甲基丙烯酸酯,以及异冰片基丙烯酸酯和己二醇二丙烯酸酯中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的光压印用固化性组合物,其要作为液滴配置在基板上。

6.一种膜,其特征在于,其由根据权利要求1至5任一项所述的光压印用固化性组合物制造,其中表面的水接触角为74°以下。

7.一种膜的制造方法,其特征在于,其包括:

将根据权利要求1至5任一项所述的光压印用固化性组合物以通过喷墨法配置所述固化性组合物的液滴的方式配置在基板上的配置步骤;

使所述光压印用固化性组合物与模具彼此相接触的模具接触步骤;

用光照射所述光压印用固化性组合物的光照射步骤;和

在所述光照射步骤之后将所述光压印用固化性组合物与所述模具彼此脱离的脱模步骤,

其中在所述基板上获得具有预定图案形状的膜。

8.根据权利要求7所述的膜的制造方法,其中与所述光压印用固化性组合物接触的所述模具的表面包括石英。

9.根据权利要求7所述的膜的制造方法,其中:

所述光照射步骤包括隔着所述模具用光照射所述光压印用固化性组合物的步骤;和

所述模具在其表面上具有凹凸图案。

10.一种具有电路的基板的制造方法,其特征在于,其包括基于通过根据权利要求7至9任一项所述的膜的制造方法获得的膜的图案形状进行蚀刻和离子注入之一,从而基于所述图案形状在所述基板上形成电路结构。

11.一种光学构件,其包括:

基板;和

配置于所述基板上的膜,

其特征在于,所述膜包括通过根据权利要求7至9任一项所述的膜的制造方法制造的膜。

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