[发明专利]电子管

权利要求书

1.一种电子管，其特征在于：

具备：

筒状的框体，具有电绝缘性的绝缘面位于内面侧；以及

电阻膜，覆盖所述绝缘面，

所述电阻膜具有由原子层沉积法形成的电绝缘层以及导电层的层叠结构。

2.一种电子管，其特征在于：

具备：

筒状的框体，具有电绝缘性的绝缘面位于内面侧；以及

电阻膜，覆盖所述绝缘面，

所述电阻膜具有由原子层沉积法形成的电绝缘材料以及导电性材料的混合结构。

3.如权利要求1或者2所述的电子管，其特征在于：

所述电阻膜遍布所述绝缘面的大致整个面而形成。

4.如权利要求1～3中任意一项所述的电子管，其特征在于：

具有导电性的导电面与所述绝缘面连续并位于在所述框体的内面侧，

所述电阻膜从所述绝缘面遍布到所述导电面而形成。

5.如权利要求4所述的电子管，其特征在于：

所述电阻膜遍布所述绝缘面以及所述导电面的大致整个面而形成。

6.如权利要求1～5中任意一项所述的电子管，其特征在于：

进一步具备：

配置于所述框体的内部的电极；以及

贯通所述框体并与所述电极相电连接的通电部，

所述电阻膜被形成于所述通电部与所述框体的内面的接触部分。

7.如权利要求1～6中任意一项所述的电子管，其特征在于：

进一步具备：

将入射光转换成光电子的光电阴极；以及

接受由所述光电阴极产生的光电子并发出荧光的荧光面。