[发明专利]精细加工方法

说明书

本发明提供对于任意基材均可简便地在表面形成精细的周期结构的精细加工方法。在基材11上涂布玻璃前体12，对玻璃前体12照射短脉冲激光。通过照射短脉冲激光，玻璃前体12活化，发生热反应，可简便地在表面形成精细的周期结构。此外，通过在基材上形成精细的周期结构后进行氧化处理，可在维持精细周期结构的状态下改善表面的颜色。

技术领域

本发明涉及在表面形成精细的周期结构的精细加工方法。

背景技术

目前，作为纳米结构的加工方法，报告了通过照射短脉冲激光在金属表面(参照专利文献1、2和非专利文献1)或半导体表面(参照专利文献3和非专利文献2)加工纳米结构的方法。在该方法中，在被激光照射的目标物上产生表面波，使该表面波与激光干涉，由此可加工光的波长程度的大小的周期结构。

图21~图23为用于说明通过照射短脉冲激光在金属表面形成周期结构的方法的截面图。若如图21所示地对金属材料101照射短脉冲激光，则表面吸收激光，由此如图22所示地产生电子的疏密分布，产生具有波长程度的周期的表面等离激元。然后，如图23所示地在电子密度高的部位产生库仑爆炸，在金属材料101上形成精细的周期结构。

这样的加工方法可简便地得到周期结构，虽然可进行大面积的精细加工，但对玻璃等透过激光的材料的精细加工因不产生表面波而无法进行。

作为对玻璃的纳米结构加工方法，报告了可通过光刻法进行加工(例如参照专利文献4)。但是，需要通过抗蚀剂成膜或曝光的方法维持精度。另外，由于加工目标物需要为不具有曲率的平面，所以加工目标物的用途受到限制。此外，在加工目标物大型化的情况下，装置变得非常贵。

另外，在专利文献5中记载了在表面附着颜料后对玻璃进行孔穴加工，但必须除去颜料。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-235195号公报

专利文献2：日本特开2010-152296号公报

专利文献3：日本特开2003-211400号公报

专利文献4：日本特开2006-346748号公报

专利文献5：日本特开2002-028799号公报

非专利文献

非专利文献1：K. okamuro等人 PhysRevB 82 165417 2010

非专利文献2：G. Miyagi, ApplPhysA 80 17 2005。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明鉴于这样的目前的实际情况而提出，提供对于任意基材均可简便地在表面形成精细的周期结构的精细加工方法。

解决课题的手段

本发明人进行了深入研究，结果发现：通过在基材上涂布吸收光的玻璃前体，对于任意基材均可简便地在表面形成精细的周期结构。此外，发现：通过在基材上形成精细的周期结构后进行氧化处理，可在维持精细周期结构的状态下改善表面的颜色(色味)。

即，本发明所涉及的精细加工方法的特征在于，具有：在基材上涂布玻璃前体的涂布工序和对所述玻璃前体照射短脉冲激光的照射工序。

另外，本发明所涉及的精细加工方法的特征在于，具有：对涂布于基材上的玻璃前体照射短脉冲激光的照射工序和氧化处理所述照射工序后的玻璃前体的氧化处理工序。

发明的效果