[发明专利]精细加工方法有效
| 申请号： | 201380039750.3 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN104487394B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 柴田章广;金子直人;厨川常元 | 申请（专利权）人： | 迪睿合电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/27 | 分类号： | C03C17/27;B23K26/18;B23K26/402;C03C17/02;C03C23/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李志强;刘力 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精细 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.精细加工方法，其中，所述方法具有：
在基材上涂布玻璃前体的涂布工序，和
对所述玻璃前体照射短脉冲激光的照射工序，
其中，所述玻璃前体为聚硅氮烷，所述玻璃前体的涂布厚度为100nm~5μm。
2.权利要求1的精细加工方法，其中，所述基材为玻璃。
3.权利要求2的精细加工方法，其中，所述短脉冲激光的射束斑为四边形形状。
4.权利要求1~3中任一项的精细加工方法，其中，所述短脉冲激光的脉冲宽度为0.01皮秒~100皮秒。
5.权利要求1~3中任一项的精细加工方法，其中，所述方法具有加热所述照射工序后的基材的煅烧工序。
6.制备精细加工品的精细加工方法，其中，所述方法具有：
对涂布于基材上的玻璃前体照射短脉冲激光的照射工序，和
氧化处理通过所述照射工序形成的精细的周期结构的氧化处理工序，
其中，所述玻璃前体为聚硅氮烷，所述玻璃前体的涂布厚度为100nm~5μm。
7.权利要求6的精细加工方法，其中，所述基材为玻璃。
8.权利要求6~7中任一项的精细加工方法，其中，所述氧化处理为热处理。
9.权利要求8的精细加工方法，其中，所述热处理在氧气氛下进行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于迪睿合电子材料有限公司，未经迪睿合电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201380039750.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
