[发明专利]用于保持工件的电粘附抓取器有效
申请号: | 201380038283.2 | 申请日: | 2013-07-11 |
公开(公告)号: | CN104718609B | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | W·蒂尔;A·海因茨 | 申请(专利权)人: | 通快机床两合公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H02N13/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 韩长永 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 保持 工件 粘附 抓取 | ||
1.一种用于保持工件(31')的电粘附抓取器(20),包括具有多线匝的第一螺旋形电极(1)和具有多线匝的第二螺旋形电极(2),其中,所述两个螺旋形电极(1、2)至少部分双线地设置,其特征在于,所述电粘附抓取器(20)具有二极管构件(6),所述螺旋形电极(1、2)通过所述二极管构件相互连接,其中,所述两个螺旋形电极(1、2)的通过所述二极管构件(6)串联连接的部分的总体具有不消失的电感。
2.根据权利要求1所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述二极管构件(6)将所述两个螺旋形电极(1、2)的两个直接相邻的分段(91、92)相互连接。
3.根据权利要求2所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述二极管构件(6)将所述两个螺旋形电极(1、2)之一的从外面数第n个线匝与另一电极的从外面数第n+1个线匝相互连接,n是自然数并且n≥1。
4.根据权利要求3所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,n=1。
5.根据权利要求2所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)分别在其远离电压接线端(41、42)的端部上通过所述二极管构件(6)连接。
6.根据权利要求5所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)分别在其内端部(51、52)上通过所述二极管构件(6)连接。
7.根据权利要求1–4中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)中的至少一个与其远离电压接线端(41、42)的端部间隔开地与所述二极管构件(6)连接。
8.根据权利要求7所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,另一电极(1、2)利用其远离电压接线端(41、42)的端部与所述二极管构件(6)连接。
9.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述第一螺旋形电极(1)和所述第二螺旋形电极(2)的通过所述二极管构件(6)彼此串联连接的线匝数量不同。
10.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)的径向距离(A、Ai、Aa)在所述两个螺旋形电极(1、2)双线设置的地方随着螺旋半径(R)保持不变。
11.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)的径向距离(A、Ai、Aa)在所述两个螺旋形电极(1、2)双线设置的地方随着螺旋半径(R)改变。
12.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述第一螺旋形电极(1)基本上在第一平面中延伸并且所述第二螺旋形电极(2)基本上在第二平面中延伸,并且所述平面重合或平行地以3.0mm的最大距离(AB)设置。
13.根据权利要求12所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述平面以2.0mm的最大距离(AB)设置。
14.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)设置或构造在共同的载体(7c)的基本上锥套形或钟形的内侧(35)上并涡旋状延伸。
15.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)和所述二极管构件(6)设置在自粘膜上,所述自粘膜粘贴在所述电粘附抓取器(20)的面对工件的侧上。
16.根据权利要求1–6中任一项所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述两个螺旋形电极(1、2)在面对工件的侧上由绝缘层(33)覆盖。
17.根据权利要求16所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,在所述绝缘层(33)的面对工件的侧上设置磨损层(34)。
18.根据权利要求17所述的电粘附抓取器(20),其特征在于,所述磨损层(34)由含石墨的塑料或富金属颗粒的塑料组成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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