[发明专利]压电振动片及使用该压电振动片的压电振动器件有效
| 申请号: | 201380031447.9 | 申请日: | 2013-07-01 |
| 公开(公告)号: | CN104380602B | 公开(公告)日: | 2017-06-09 |
| 发明(设计)人: | 幸田直树 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
| 主分类号: | H03H9/19 | 分类号: | H03H9/19;H01L41/09;H01L41/18 |
| 代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人: | 刘钊,齐葵 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 振动 使用 器件 | ||
1.一种压电振动片,具备:
压电板,具有在中央部分作为振动区域的薄壁部、及形成于所述薄壁部的周围的全周或一部分以补强所述薄壁部的厚壁部;
所述压电板的薄壁部的上下表面各自形成的激励电极;和
将所述压电板的薄壁部的上下表面各自形成的所述激励电极引出到所述厚壁部上的引出电极,
所述厚壁部具备面对所述薄壁部的第一侧壁斜面,
所述厚壁部上设置有通过导电性粘接剂与内部端子连接的所述引出电极的端部,
在所述第一侧壁斜面上设有触点金属,
所述触点金属的导电性材料选自Cr、Ru、Mo和W的任意一种,所述触点金属被形成为的膜厚,并由在所述第一侧壁斜面上相互电绝缘且物理性分离的多个金属薄膜构成。
2.根据权利要求1所述的压电振动片,其中,
所述厚壁部的一部分形成与所述薄壁部几乎相同厚度的电极引出区域,
所述引出电极的端部被引出到所述电极引出区域,
所述厚壁部的一部分具备面对所述电极引出区域的至少两个对置的第二侧壁斜面,
所述触点金属被设在至少一个所述第二侧壁斜面上。
3.根据权利要求2所述的压电振动片,其中,
所述触点金属被设在所述两个对置的第二侧壁斜面上。
4.根据权利要求2所述的压电振动片,其中,
所述触点金属进一步被设在所述电极引出区域上。
5.根据权利要求1所述的压电振动片,其中,
所述触点金属被设在所述压电板的上下表面的整个表面上,
所述激励电极和所述引出电极被设置在所述触点金属上。
6.根据权利要求1所述的压电振动片,其中,
所述厚壁部被设在所述压电板的所述薄壁部的上表面侧和下表面侧的任意一侧,或者在上表面侧和下表面侧共同设置。
7.根据权利要求1所述的压电振动片,其中,
所述激励电极包括:设在所述压电板的一个表面上的共用电极;和对应于所述共用电极设在所述压电板的另一表面上的至少一对分割电极。
8.根据权利要求7所述的压电振动片,其中,
所述薄壁部为俯视矩形形状的振动区域,
所述厚壁部形成在所述薄壁部的周围,并且具有在对角线上对置的至少一对角部,
在所述厚壁部的所述至少一对角部上,形成有来自所述共用电极的一对引出电极各自的端部,并且在所述一对角部之中的至少一个上形成有凹部,
在所述凹部内设有所述触点金属,并且所述一对引出电极的端部被设在所述触点金属上。
9.根据权利要求1所述的压电振动片,其中,
所述压电板由AT切割晶体构成。
10.一种压电振动器件,至少包括:
权利要求1所述的压电振动片;和
构成为上表面开口的箱状且在底部具备内部端子的封装,
所述压电振动片被收纳在所述封装中,并且其引出电极与所述内部端子通过导电性粘接剂连接。
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