[发明专利]等离子体坩埚密封

说明书

技术领域

本发明涉及等离子体坩埚密封和密封的等离子体坩埚。

背景技术

在我们的PCT/GB2008/003829中，描述并请求保护了一种由微波能量供能的光源，该光源具有：

·固态等离子体坩埚，其材料是透明的，用于使光从其中离开，该等离子体坩埚中具有密封中空，

·围绕等离子体坩埚的法拉第罩，该罩至少部分透光，用于使光从该等离子体坩埚离开，同时，该罩被微波包封，

·在所述中空中的可由微波能量激发的材料的填充物，用于在其中形成发光等离子体，以及

·布置在等离子体坩埚中的天线，用于将诱导等离子体的微波能量传输至填充物，该天线具有：

·在等离子体坩埚外部延伸的连接部，用于耦合至微波能量源；

该布置使得来自该中空中的等离子体的光能够传播通过该等离子体坩埚并且经由该罩从等离子体坩埚中辐射出去。

在该申请中，我们给出如下定义：

“透明”是指构成被描述为透明的物品的材料是透明的或半透明的；

“等离子体坩埚”是指(用于)包封等离子体的封闭主体，当中空中的填充物被来自天线的微波能量激发时，该等离子体位于中空中。在本申请中，我们继续使用该定义，但是是在对坩埚进行密封的情况下，该坩埚在密封的过程中不包含等离子体。因此，如本文所使用的，该定义包括词语“用于”。

我们已经将上述申请中的技术称为发光谐振器或LER技术。

在本申请中，我们定义：

“填充的等离子体坩埚”是指在其中空中密封有可激发的发光填充物的透明等离子体坩埚。

这种填充的等离子体坩埚可以具有固定地密封在坩埚内(可能在中空中)的天线，或者坩埚中的凹腔，天线插入凹腔中以备坩埚的使用。

在我们的国际申请No.WO 2010/094938(我们的’938申请)中，描述并请求保护了一种密封填充的等离子体坩埚的方法，其包括如下步骤：

·提供具有开放中空的透明材料的等离子体坩埚，所述中空具有开口；

·提供远离坩埚的开口延伸的管，所述管气密性地密封至所述坩埚；

·通过管将可激发材料插入中空；

·通过管将中空抽空；

·通过管将惰性气体导入中空；以及

·通过在开口处或开口附近密封管来密封中空，包封可激发材料和惰性气体。

在我们的’938申请的特定实施例中：

·所述中空在中空的开口处具有用于栓塞的挡片，以及

·栓塞位于开口处，通过管抵住挡片，栓塞和开口的形状互补，用于定位栓塞以用于其在开口中的密封，以及栓塞和开口具有间隙和/或局部成形以允许气体流出和流入中空。

在另一替代中，栓塞可以抵住坩埚的平面表面来密封。

在其他实施例中，不使用栓塞，管位于并且熔融于坩埚的表面。可替代地，管可以位于并且熔融于坩埚的表面上中空的开口处的扩孔内。

在填充的等离子体坩埚的一些应用中，其可以通过保持从坩埚延伸的管来支持。在其他应用中，管将在靠近封口处移除且由其主体来支持。

我们已经改进了我们技术，进一步包括我们的国际申请No.PCT/GB2011/001744(我们的’744申请)中的技术，虽然该申请还未公布，但是其描述并请求保护了：

一种透明波导电磁波等离子体光源，包括：

·固态介电透明材料的制造件，所述制造件至少具有：

·封闭中空，包含电磁波可激发的等离子体材料；

·法拉第罩：

·包封制造件；

·对于从其中发出的光是至少部分透明的，以及

·限定波导，所述波导具有：

·波导空间，所述制造件占据波导空间的至少一部分；以及

·用于在至少大致被固态介电材料包围的位置处将激发等离子体的电磁波引入波导中的至少部分感应耦合的部件；

因而，在引入特定频率的电磁波时，在中空中产生等离子体并且光经由法拉第罩发出；

·这样的布置具有：

·波导空间的第一区域，其在该区域中的法拉第罩的相对的侧面之间延伸，该第一区域：

·容纳感应耦合部件，以及

·具有相对较高的体积平均介电常数，以及

·波导空间的第二区域，其在该区域中的法拉第罩的相对的侧面之间延伸，该第二区域：

·具有相对较低的体积平均介电常数。