[发明专利]等离子体坩埚密封

权利要求书

1.一种密封填充的LUWPL的方法，LUWPL适于与周围的法拉第罩一起使用以在填充的中空中产生微波激发的等离子体，所述方法包括以下步骤：

·提供仅在一端具有中空开口的透明材料的未密封的LUWPL，所述中空在所述未密封的LUWPL的制造件的一个表面上具有开口端并且朝向其另一表面延伸；

·提供可熔融至所述制造件的透明材料的密封管，所述管的横截面小于所述制造件的横截面，

·所述密封管与所述中空对齐并且在开放中空的开口处远离所述一个表面延伸；

·熔融所述密封管，

·所述密封管直接气密性密封至与所述中空连通的所述未密封LUWPL的制造件，在密封之后，所述一个表面的剩余部分在径向上超过所述管；

·通过所述密封管将可激发材料加入所述中空中；

·通过所述密封管将所述中空排空，所述管被定向为使得所述可激发材料下降到所述中空的另一表面端；

·加热所述中空的另一表面端周围的所述透明材料以从所述可激发材料驱除挥发性杂质，所述杂质被排出；

·允许所述可激发材料至少主要在所述中空内凝结；

·通过所述管将惰性气体导入所述中空中；以及

·通过在所述开口处或所述开口附近密封所述密封管来密封所述中空，以包封所述可激发材料和所述惰性气体。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述密封管是：

·熔融在所述未密封的LUWPL的制造件上的管，或者

·所述制造件的组成部分。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，密封所述中空的步骤包括制造所述密封管的与所述一个表面齐平或者超过所述一个表面的端头以提供冷却点。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，提供透明材料的所述未密封的LUWPL的步骤包括：

·通过模制和烧结来制造等离子体坩埚，其中从所述等离子体坩埚的一个表面模制出所述中空。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，提供所述透明材料的未密封的LUWPL的步骤包括：

·从一块石英形成，包括从其一个表面在其中加工所述中空。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，加热所述中空的另一表面端周围的所述透明材料以驱除挥发性杂质的步骤包括加热外壳和/或邻近所述外壳的另一表面，其中可激发材料停留在所述中空内的所述外壳上。

7.根据权利要求5所述的方法，其中：

·所述密封管被定位和熔融在所述透明等离子体坩埚的所述一个表面上，或者

·所述密封管被定位和熔融在所述中空的开口处所述透明等离子体坩埚的一个表面的扩孔中。

8.根据权利要求1或2所述的方法，其中，提供所述透明材料的未密封的LUWPL的步骤包括：

·制造固态介电透明材料的未密封的LEX制造件，并且当实现所述中空的至少一个外壳时包含密封电磁波可激发的等离子体材料和围绕所述中空的环壁腔，所述制造步骤包括：

·提供所述密封管作为从其形成所述中空的管，

·密封所述管的一端以形成所述中空的一端，

·使所述管通过所述腔的壁并且将所述管熔融至所述腔的壁。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，另外的腔壁部分包括所述管所通过的平面前壁、从所述前壁向后延伸的管状壁、和与所述前壁分离的后壁，管状壁从所述后壁向后延伸以提供所述制造件的使用中围绕固态介电块的裙部，其中：

·使所述管穿过所述腔的壁并且将所述管熔融至所述腔的壁的步骤包括使所述管朝向所述后壁穿过所述前壁，其中与所述中空的密封的一端之间有间隙，或者使所述密封的一端熔融至所述后壁中，以及

·加热所述中空的另一表面端周围的所述透明材料以从所述可激发材料中驱除挥发性杂质的步骤通过以下实施：在所提供的裙部内，对所述后壁进行加热。