[发明专利]基板箱、基板搬运箱、箱覆盖体、基板搬运系统及基板搬运方法

说明书

技术领域

本发明关于一种用于将大型矩形平板状基板收容在内部并搬运的基板箱、用在该基板箱的基板搬运箱、箱覆盖体、包含以上这些的基板搬运系统、及使用以上这些的基板搬运方法。

背景技术

作为上述矩形平板状基板，有用在液晶显示器(LCD)面板或等离子显示器(PD)面板的制造的玻璃基板、在玻璃基板表面积层有遮光膜或光阻膜等的光罩基板、及经由光微影步骤形成有电路图案的光罩等。这些基板在各制造步骤或后续步骤即成膜步骤或曝光步骤皆要求高洁净度，因此例如在维持在等级100左右的洁净度的无尘室内制作。

制作出的基板在无尘室内收容密封在防尘构造的基板箱(内箱)。上述基板为重量较重的物品。例如，对角尺寸1.8m左右的基板的质量，基板单体大约为50kg左右，对角尺寸约2.4m等级的基板的质量，基板单体超过100kg。因此，人将收容有基板的基板箱举起搬运并不切实际。因此，为了使收容有基板的基板箱的移动变容易，在基板箱的下端设有脚轮。在以往的基板箱，基板以表面及背面成为铅垂的纵置姿势收容于基板箱。或者，将基板收容于基板箱后，使基板箱竖立以使基板成为上述纵置姿势。脚轮设在此时成为下端的箱底部的四角(参照专利文献1)。

收容有基板的基板箱，在称为传递箱的中间洁净度的无尘室，被使用使用于洁净体的抑制发尘性的材质制作的箱覆盖体包装。箱覆盖体在下面侧具有开口部且呈从上方覆盖箱本体部的封筒状，在下面侧设置从彼此平行地上下延伸的一个立设面侧(例如，基板表面侧)延伸至另一个立设面侧(基板背面侧)的底面部。底面部形成为例如在未配置脚轮的区域通过箱本体部的下侧且连结上述立设面间的舌片状，通过面扣件等扣接在另一立设面侧(例如，参照专利文献2)。由此，在基板箱搬运时，箱本体部被箱覆盖体覆盖，成为微粒(尘埃)不易附着的结构。

以箱覆盖体包装的基板箱从传递箱移动至一般环境。在出货步骤，以箱覆盖体包装的基板箱(内箱)收容在更大型的搬运用箱(外箱)，在严密保护的状态下出货(例如，参照专利文献1、专利文献2)。如上所述，由于基板为重量较重的物品，因此人不易举起基板搬运箱并移动。因此，在基板搬运箱的下端部也设置脚轮(参照专利文献1)。被基板箱、箱覆盖体、及基板搬运箱捆包的基板利用脚轮或叉车等在工厂内移动，通过货车或飞机等输送手段从基板制造工厂输送搬运至下一步骤的工厂。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本实用新型注册第3117369号公报

专利文献2：日本特开2008-7127号公报

发明内容

发明要解决的课题

近年来，LCD面板或PD面板的大型化进一步发展，谋求对角尺寸超过2m的大型基板。基板若大型化则质量也增加，例如，尺寸为1800×1600×17mm的基板，基板单体的质量成为110kg。为了保护上述大型化、重量化的基板并使其稳定地移动，仅使以往的基板箱规格上升会有不易解决的各种问题。

首先，与以往相同，将基板以纵置姿势收容在基板箱的情形，会有基板箱的尺寸较以基板尺寸为基准求出的形状尺寸大型化的问题。即，重心位置随着基板的大型化变高，若考虑倒下稳定性，则产生使基板箱的尺寸较原本必要的厚度大幅地增加的必要。例如，收容1800×1600×17mm的基板的情形，以此基板尺寸为基准求出的基板箱的外形尺寸为大约2000×1800×250mm左右，包含基板的基板箱的质量为大约300kg左右。

使基板的短边成为上下方向延伸的纵置姿势时，如图27所示，基板箱101的高度成为1800mm，重心成为900mm的高度位置。此时，因地面倾斜等使基板箱倾斜约8度则基板箱101倒下。将此静态倒下角度设定成在一般家电产品做为基准的15度时，必要的基板箱的厚度成为约480mm。此时，基板箱所占空间的容积成为以基板尺寸为基准的基板箱的约2倍。若考虑收容有基板的基板箱为质量300kg左右的重量较重的物品、若倒下则高价基板受损的可能性高等，则优选为使倒下角度为更大的角度。设静态倒下角度为30度的情形，基板箱所占空间容积超过以基板尺寸为基准的基板箱的4倍。

另一方面，将基板以表面及背面成为水平的横置姿势收容在基板箱、在投影面积广的底面的四角设有脚轮的情形，不会产生上述问题。然而，在底面的四角设有脚轮的情形，支承负荷的支点间隔变广，因此基板箱容易因作用于基板箱的负荷而弯曲变形。若欲以附加结构抑制，则产生箱构造复杂化的问题。