[发明专利]基板箱、基板搬运箱、箱覆盖体、基板搬运系统及基板搬运方法

权利要求书

1.一种基板箱，其用于将对角尺寸超过2m的矩形平板状基板收容在内部并搬运所述基板，其特征在于，具有：

下部箱，其在上面侧设有将所述基板的前后左右的缘部在板厚方向加以支承的基板支承部，在下面侧设有四个移动用脚轮；以及

上部箱，其从上方覆盖所述基板支承部所支承的所述基板，并且安装在所述下部箱；

所述脚轮安装在框状区域，所述框状区域配置在俯视下所述基板支承部所支承的所述基板的外形即第1四角形的内侧，且为将根据俯视下的所述下部箱的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。

2.如权利要求1所述的基板箱，其中，所述脚轮在前后及左右排列地安装于所述框状区域；

与在前后及/或左右排列的二个所述脚轮的内侧相邻地设置可插入叉车的叉状部的叉状部插入区域。

3.如权利要求2所述的基板箱，其中，所述叉状部插入区域形成为包含所述第2四角形中沿前后延伸的左右二边及/或沿左右延伸的前后二边的区域。

4.如权利要求2或3所述的基板箱，其中，所述下部箱具有显示所述叉状部插入区域的位置的标记。

5.如权利要求1或2所述的基板箱，其中，所述脚轮在所述框状区域的四角分别安装有一个。

6.如权利要求1或2所述的基板箱，其中，在所述脚轮安装有保护车轮的侧面及行进方向前后的转动面的保护盖。

7.如权利要求1或2所述的基板箱，其中，所述基板的重量为100kg以上。

8.一种基板搬运箱，其用于收纳并搬运在内部保持有基板的基板箱，其特征在于：

所述基板搬运箱具有在下面侧设有脚轮且收容所述基板箱的搬运箱本体部与覆盖收容在所述搬运箱本体部的所述基板箱且安装在所述搬运箱本体部的上面侧的盖构件；

在所述搬运箱本体部与所述脚轮之间设有在搬运时吸收从外部作用于所述脚轮的冲击的缓冲构件；

所述缓冲构件在收纳有保持有所述基板的基板箱的状态下的谐振频率为17.7Hz以下；

所述基板箱，具有：

下部箱，在上面侧设有将所述基板的前后左右的缘部在板厚方向加以支承的基板支承部，在下面侧设有四个移动用脚轮；以及

上部箱，从上方覆盖所述基板支承部所支承的所述基板，并且安装在所述下部箱；

所述基板箱的所述脚轮安装在框状区域，所述框状区域配置在俯视下所述基板支承部所支承的所述基板的外形即第1四角形的内侧，且为将根据俯视下的所述下部箱的外形算出的前后方向的贝色点及左右方向的贝色点分别连结而形成的第2四角形的外侧。

9.如权利要求8所述的基板搬运箱，其中，所述缓冲构件的厚度为5～30mm。

10.如权利要求8或9所述的基板搬运箱，其中，所述缓冲构件的硬度在萧氏A(JIS-K6253)标尺下为40～90。

11.如权利要求8或9所述的基板搬运箱，其中，所述基板的重量为100kg以上。

12.一种箱覆盖体，其覆盖在内部收容有基板的基板箱的外周，抑制在所述基板搬运时灰尘附着于所述基板箱的袋状的箱覆盖体，其特征在于：

所述基板箱具有收容所述基板的基板箱本体部、及在下端具有车轮且从所述基板箱本体部向下方突出设置的多个脚轮构造；

所述箱覆盖体，配合在所述基板箱本体部的所述多个脚轮构造的配置位置，形成使各所述脚轮构造上下插通的多个脚轮插通孔；

且所述脚轮插通孔的开口缘构成为形状尺寸依据通过所述脚轮插通孔的所述脚轮构造的通过剖面而变化自如；

使所述脚轮构造通过所述脚轮插通孔以使所述车轮向覆盖体外方露出时，所述开口缘跟随所述脚轮构造的通过剖面而变化，封闭在所述脚轮构造与所述脚轮插通孔之间可能产生的间隙。

13.如权利要求12所述的箱覆盖体，其中，所述箱覆盖体具有覆盖所述基板箱本体部的上部外周的上覆盖体部、覆盖所述基板箱本体部的下部外周的下覆盖体部、及将所述上覆盖体部与所述下覆盖体部可开闭地连结且以密封状态包覆所述基板箱本体部整体的呈一体袋状的连结构造；

在所述下覆盖体部形成有所述多个脚轮插通孔。