[发明专利]具有滴水边缘构造的衬底载体在审

专利信息
申请号: 201380020056.7 申请日: 2013-04-16
公开(公告)号: CN104350590A 公开(公告)日: 2015-02-11
发明(设计)人: 路茨·雷伯斯托克 申请(专利权)人: 布鲁克CCS有限公司;路茨·雷伯斯托克
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 王鹏鑫
地址: 德国巴登*** 国省代码: 德国;DE
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 具有 滴水 边缘 构造 衬底 载体
【权利要求书】:

1.一种用于支撑一个或多个衬底的载体,所述载体包括:

至少一个第一结构;

至少一个第二结构,

其中,所述第二结构被固定到所述第一结构,

其中,所述第二结构部分地突出到由两个相邻衬底限定的空间,用于分离所述两个相邻衬底;

其中,所述第二结构被构造为使得液滴通过重力远离所述衬底地排出。

2.如权利要求1所述的载体,其中,所述第二结构包括路径使得所述液滴远离所述衬底地行进。

3.如权利要求1所述的载体,其中,所述第二结构包括向着所述衬底的底部并且远离所述衬底地倾斜的线或表面。

4.如权利要求1所述的载体,其中,所述第二结构在所述空间内不具有能够捕捉所述液滴的点、水平线或水平面。

5.如权利要求1所述的载体,其中,所述第一结构被构造为使得所述液滴通过重力向着所述第一结构的一端排出。

6.一种用于支撑一个或多个衬底的载体,所述载体包括:

至少一个第一结构;

至少一个第二结构,

其中,所述第二结构被固定到所述第一结构,

其中,所述第二结构部分地突出到由两个相邻衬底限定的空间,用于分离所述两个相邻衬底;

其中,所述第二结构包括远离所述衬底地倾斜的表面,使得液滴通过重力远离所述空间地排出。

7.如权利要求6所述的载体,其中,所述第二结构的突出部包括角锥或圆锥形状。

8.如权利要求7所述的载体,其中,所述角锥在最底部处包括棱。

9.如权利要求7所述的载体,其中,所述角锥或圆锥形状包括从所述第一结构向上指向的顶点。

10.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构包括板。

11.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构包括杆。

12.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构包括用金属芯加强的塑料杆。

13.如权利要求12所述的载体,其中,所述杆的横截面包括椭圆形状。

14.如权利要求12所述的载体,其中,所述杆的横截面包括准正方形形状。

15.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构包括倾斜角。

16.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构包括L形状,所述L形状具有部分地覆盖所述载体的侧面的一侧和部分地覆盖所述载体的底部的一侧。

17.如权利要求6所述的载体,其中,所述第一结构被布置在所述载体的侧面处,以及所述载体还包括用于在所述载体的底部支撑所述衬底的底部结构。

18.一种方法,包括:

将一个或多个衬底供应到载体,

其中,所述载体包括结构,所述结构突出到由两个相邻衬底限定的空间,用于分离所述两个相邻衬底,

其中,所述结构包括远离所述衬底地倾斜的表面;

利用液体使所述载体和所述衬底变湿,

其中,液滴通过重力远离所述衬底地排出。

19.如权利要求18所述的方法,其中,利用液体使所述载体和所述衬底变湿的步骤包括从填充有所述液体的容器中抬起所述载体和所述衬底。

20.如权利要求18所述的方法,还包括:

对所述衬底进行干燥。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于布鲁克CCS有限公司;路茨·雷伯斯托克,未经布鲁克CCS有限公司;路茨·雷伯斯托克许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201380020056.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top