[发明专利]被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的层叠板

说明书

技术领域

本发明涉及被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的层叠板。

本申请基于2012年3月30日在日本申请的特愿2012-078719号，以及2012年12月10日在日本申请的特愿2012-269289号，主张其优先权，并在此引用其内容。

背景技术

在对硅片、硬盘等被研磨物进行研磨时，用于被研磨物保持件的层叠板，使用将在纤维基材浸渍环氧树脂等热固化性树脂并使其干燥而得到的预浸料(prepreg)重叠规定数量而一体加热加压成型的层叠板。

层叠板如以下那样朝被研磨物保持件加工。从规定尺寸的层叠板切出规定尺寸的圆板，在该层叠板开设一个到多个圆形的孔。另外，在圆板的周围形成齿轮的齿。在使用像这样制作的被研磨物保持件进行研磨时，将上述保持件设置于研磨机，在其圆形的孔保持被研磨物。使驱动齿轮的齿与保持件的周围的齿啮合，从而使保持件驱动。伴随于此，保持于圆形的孔的被研磨物也被驱动，从而被研磨物的表面通过与其抵接的研磨件而被研磨。

被研磨物保持件所要求的特性有抗磨损性、板厚精度、弯曲特性、以及尺寸稳定性等。另外，近年，伴随着被研磨物所要求的品质、性能的提高，寻求能够抑制被研磨物的擦伤(研磨伤)的产生的被研磨物保持件。

为了改善这些，作为形成不会使被研磨物产生擦伤的被研磨物保持件的材料，正在研究芳族聚酰胺类纤维(例如，参照专利文献1。)，但要求相对于被研磨物保持件的抗磨损性的进一步的提高、伴随被研磨物亦即基板的薄壁化而产生的被研磨物保持件的弯曲的抑制、板厚精度的提高。

为了改善上述那样的点，对将在芳族聚酰胺纤维、PBO纤维、全芳香族聚酯纤维以及高强度聚乙烯纤维等有机纤维基材浸渍环氧树脂等的热固化性树脂的组成物而成的预浸料作为表层，将在玻璃纤维基材浸渍环氧树脂等热固化性树脂的组成物而成的预浸料作为中间层，并将这些预浸料层叠加热加压而得到的被研磨物保持件(例如，参照专利文献2。)等进行了研究。然而，存在因用于表层的有机纤维基材、与用于中间层的玻璃纤维材的线膨胀系数的不同等而引起的变形的问题，因此在伴随基板的薄壁化而产生的被研磨物保持件的弯曲的抑制、板厚精度的提高这方面来看，存在改善的余地。另外，芳族聚酰胺纤维、PBO纤维、全芳香族聚酯纤维以及高强度聚乙烯纤维等有机纤维，与玻璃纤维相比，价格高，因此考虑到经济效率，期望不使用有机纤维就兼得被研磨物保持件的弯曲的抑制、板厚精度的提高、以及被研磨物的擦伤产生的抑制。

专利文献1:日本特开平11-309667号公报

专利文献2:日本特开2009-61531号公报

发明内容

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于，提供一种被研磨物保持件，作为用于表层的纤维基材使用与用于中间层的纤维基材相同的玻璃纤维基材，从而对伴随基板的薄壁化而产生的被研磨物保持件的弯曲、板厚精度进行改善，并且抑制被研磨物的擦伤的产生，抗磨损性良好，更有利于经济效率。

本发明能够如以下所示。

本发明的被研磨物保持件在最外层具有第一树脂层的被研磨物保持件，该第一树脂层通过在第一纤维基材浸渍第一树脂组成物并对其加热加压而构成，上述被研磨物保持件的特征在于，上述第一纤维基材为玻璃纤维基材，在除了上述第一纤维基材之外的上述第一树脂层中，以50质量％以上的比例包含来自于具有酚醛清漆骨架的树脂的构造。

本发明的被研磨物保持件，能够在上述第一树脂层中，以25质量％以上、且60质量％以下的比例包含上述第一纤维基材。

本发明的被研磨物保持件，上述第一纤维基材为单位面积质量在30g/m²以上、且150g/m²以下的玻璃纤维织物。

本发明的被研磨物保持件，上述第一树脂组成物包含选自酚醛清漆型环氧树脂以及酚醛清漆型苯酚树脂中的一种以上的树脂。

本发明的被研磨物保持件，对于上述第一树脂组成物而言，在100质量份的上述组成物中以40质量份以上、且80质量份以下的比例包含酚醛清漆型环氧树脂。

本发明的被研磨物保持件，对于上述第一树脂组成物而言，在100质量份的上述组成物中以20质量份以上、且40质量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚树脂。

本发明的被研磨物保持件，对于上述第一树脂组成物而言，在100质量份的上述组成物中以5质量份以上、且40质量份以下的比例包含双酚A型环氧树脂。