[发明专利]被研磨物保持件以及用于被研磨物保持件的层叠板无效
| 申请号： | 201380016325.2 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN104245231A | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 武谷光男;丸山丰太郎 | 申请（专利权）人： | 住友电木株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/28 | 分类号： | B24B37/28;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 保持 以及 用于 层叠 | ||
1.一种被研磨物保持件，在最外层具有第一树脂层，该第一树脂层通过在第一纤维基材浸渍第一树脂组成物并对其加热加压而构成，
所述被研磨物保持件的特征在于，
所述第一纤维基材为玻璃纤维基材，
在除了所述第一纤维基材之外的所述第一树脂层中，以50质量％以上的比例包含来自于具有酚醛清漆骨架的树脂的构造。
2.根据权利要求1所述的被研磨物保持件，其特征在于，
在所述第一树脂层中，以25质量％以上、且60质量％以下的比例包含所述第一纤维基材。
3.根据权利要求1或2所述的被研磨物保持件，其特征在于，
所述第一纤维基材为单位面积质量在30g/m2以上、且150g/m2以下的玻璃纤维织物。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的被研磨物保持件，其特征在于，
所述第一树脂组成物包含选自酚醛清漆型环氧树脂以及酚醛清漆型苯酚树脂中的一种以上的树脂。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的被研磨物保持件，其特征在于，
对于所述第一树脂组成物而言，在100质量份的所述组成物中以40质量份以上、且80质量份以下的比例包含酚醛清漆型环氧树脂。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的被研磨物保持件，其特征在于，
对于所述第一树脂组成物而言，在100质量份的所述组成物中以20质量份以上、且40质量份以下的比例包含酚醛清漆型苯酚树脂。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的被研磨物保持件，其特征在于，
对于所述第一树脂组成物而言，在100质量份的所述组成物中以5质量份以上、且40质量份以下的比例还包含双酚A型环氧树脂。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的被研磨物保持件，其特征在于，
在内层具有一层或者两层以上的第二树脂层，该第二树脂层通过在第二纤维基材浸渍第二树脂组成物并对其加热加压而构成，所述第二纤维基材为玻璃纤维基材。
9.根据权利要求8所述的被研磨物保持件，其特征在于，
所述第二纤维基材为单位面积质量在100g/m2以上、且220g/m2以下的玻璃纤维织物。
10.一种层叠板，其特征在于，
使用在权利要求1～9中任一项所述的被研磨物保持件。
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