[发明专利]CZTS系太阳能电池用合金的制作方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的光吸收层成膜所使用的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，将铜、硫化锌、锡和硫作为原材料进行结晶化。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，将铜、硫化锌、锡和硫真空密封于安瓿中，通过采用加热的熔体生长进行结晶化。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，设为在铜、硫化锌、锡和硫中进一步加入硒的组成。

4.根据权利要求2所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，在铜、硫化锌、锡和硫中进一步加入硒并真空密封于安瓿中，通过采用加热的熔体生长进行结晶化。

5.根据权利要求1和3所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，铜/(锌+锡)的组成比为70～100原子％。

6.根据权利要求2和4所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，安瓿为石英安瓿，并被碳涂覆。

7.根据权利要求2和4所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，加热温度是，在第1温度步骤中使温度为200～300℃并维持一定时间后，作为第2温度步骤在1000～1100℃维持一定时间。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池用合金的制作方法，其特征在于，在第1温度步骤中将温度状态维持6小时以上，在第2温度步骤中将温度状态维持12小时以上。

9.一种太阳能电池用溅射靶的制作方法，其特征在于，将通过权利要求2和4所述的太阳能电池用合金的制作方法制作的太阳能电池用合金设置于溅射装置，并且，为了制成用于通过溅射法形成太阳能电池的光吸收层的溅射靶而进行切片。

10.一种太阳能电池用溅射靶的制作方法，其特征在于，将通过权利要求2和4所述的太阳能电池用合金的制作方法制作的太阳能电池用合金设置于溅射装置，并且，为了制成用于通过溅射法形成太阳能电池的光吸收层的太阳能电池用溅射靶，进行粉碎而粉末化，通过压制加工而大块化后，进行切片。

11.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括下述光吸收层制作工序：使用通过权利要求9～10所述的太阳能电池用溅射靶的制作方法制作的溅射靶，利用溅射装置溅射到层叠于玻璃基板上的下部电极上从而成膜出光吸收层用的薄膜。

12.一种太阳能电池的制作方法，其特征在于，包括下述光吸收层制作工序：使用通过权利要求2和4所述的太阳能电池用合金的制作方法制作的太阳能电池用合金，利用真空蒸镀装置蒸镀到叠层于玻璃基板上的下部电极上从而成膜出光吸收层用的薄膜。