[发明专利]带电粒子线装置用隔音罩以及带电粒子线装置

权利要求书

1.一种带电粒子线装置用隔音罩，其包围带电粒子线装置，上述带电粒子线装置用隔音罩的特征在于，

具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。

2.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心部形成部件以将多个上述筒状体沿上述隔音罩的内壁排列的方式形成该筒状体。

3.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心形成部件在上述隔音罩的侧壁上形成上述筒状体，并以上述开口位于与该隔音罩的顶板相接的第一空间、包含该隔音罩的高度方向的中心区域的第二空间以及包含底部的第三空间中至少一处的方式形成上述筒状体。

4.根据权利要求3所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述筒状体在上述侧壁的高度方向上至少排列有四个，最靠近顶板的筒状体在上述第一空间具有开口，第二和第三靠近顶板的筒状体在上述第二空间具有开口，第四靠近顶板的筒状体在上述第三空间具有开口。

5.根据权利要求4所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述筒状体的空心部的长度为上述隔音罩的高度的1/4左右。

6.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

在上述开口处设置多孔板。

7.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心形成部件在上述隔音罩的顶板上形成上述筒状体。

8.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心形成部件在上述隔音罩的底部上形成上述筒状体。

9.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心部形成部件将上述筒状体相对于上述隔音罩的内侧、外侧或者这两者多级重叠地形成。

10.根据权利要求1所述的带电粒子线装置用隔音罩，其特征在于，

上述空心部形成部件将上述筒状体相对于上述隔音罩的内侧的空间一级或多级重叠地形成。

11.一种带电粒子线装置，其具备带电粒子源和保持被从该带电粒子源射出的带电粒子线照射的试样的试样台，上述带电粒子线装置的特征在于，

具有包围该带电粒子线装置的隔音罩，该隔音罩具备空心部形成部件，该空心部形成部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过该空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。

12.根据权利要求11所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述空心部形成部件以将多个上述筒状体沿上述隔音罩的内壁排列的方式形成该筒状体。

13.根据权利要求11所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述空心形成部件在上述隔音罩的侧壁上形成上述筒状体，并以上述开口位于与该隔音罩的顶板相接的第一空间、包含该隔音罩的高度方向的中心区域的第二空间以及包含底部的第三空间中至少一处的方式形成上述筒状体。

14.根据权利要求11所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述空心形成部件在上述隔音罩的侧壁上形成上述筒状体，并以上述开口位于与该隔音罩的顶板相接的第一空间、包含该隔音罩的高度方向的中心区域的第二空间以及包含底部的第三空间中至少第二空间的方式形成上述筒状体。

15.根据权利要求14所述的带电粒子线装置，其特征在于，

上述试样台配置于上述第二空间。