[发明专利]带电粒子线装置用隔音罩以及带电粒子线装置

说明书

技术领域

本发明涉及带电粒子线装置等所使用的隔音罩，特别涉及能够抑制特定频率声音的影响的隔音罩以及带电粒子线装置。

背景技术

在使用电子线的、在高分辨率下进行微小构造观察的电子显微镜等的带电粒子线装置中，随着分辨率的提高因来自外部的微小振动或声音而产生的图像干扰明显化。因此，以防止因被设置环境声音照射而产生的图像干扰的产生为目的，以从外侧覆盖装置的方式设置隔音罩作为隔断向装置照射的声波的传递的单元。

隔音罩考虑到声波的衍射性质再鉴于可操作性或低成本化，通常形成为具有上下、左右、上下面的六面体构造。

对于提高该罩的隔音性能，对罩内部进行吸声是有效的，在罩内面上布满有机多孔质材料也是有效的。但是，带电粒子线装置一般用在清洁室内，因而存在因这些有机材料的飞沫引起的起尘性妨碍清洁室的防尘性而产生问题的情况。专利文献1中公开了由防尘纤维覆盖吸声件并安装在隔音罩内面上的技术作为避免上述问题的方法。

另外，一般在声音工程的领域中，已知存在因瓶型容器形状的口部的空气振动而引起并依赖容器形状的共振频率。这被称为亥姆霍兹共振器，存在利用该吸声原理进行吸声的技术。例如作为利用该技术的东西，在专利文献2中公开有由具备多个小孔的箱部件构成的吸声构造体。另外，在专利文献3以及专利文献4中公开有在双层框架部分上设置亥姆霍兹共振器的构造，在专利文献5中公开有在铁道车辆的防护板部下部设置亥姆霍兹共振器的构造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－79870号公报

专利文献2：日本特开2008－138505号公报

专利文献3：日本专利第4232153号公报

专利文献4：日本特开2010－216104号公报

专利文献5：日本专利第3911208号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在分辨率较高的带电粒子线装置中，设置隔音罩作为隔断向装置照射的声波的传递的单元，并由此来提高比较高频的耐噪音性能。但是另一方面，存在低频率区域中耐噪音性能下降的情况。引起该情况的原因如下：一般的设计中在装置内将对振动敏感的部位配置在罩中央部附近，对此，因某一频率在罩内产生的声音驻波的声压的波腹恰好到达该罩中央，从而进一步对振动敏感的部位激振。

在对于因该特定频率的声音而产生的振动，以专利文献1的隔音罩对应的情况下，由于对象频率较低因此应当设置的吸声件的厚度变厚。另外，在专利文献2所公开的现有技术中，需要开设有无数个与板厚同程度以下开口直径的孔，因为在一般的冲孔加工中难以进行，因此需要额外进行激光加工，因而存在制作成本提高的可能性。再有，在专利文献3乃至专利文献5中并没有提供能够通过专门应对带电粒子线装置中成为问题的频率的吸声构造来有效地进行吸声的形状或设置位置等构造。

以下，对以实现抑制由特定频率带来的图像干扰和小型化并存为目的的隔音罩以及带电粒子线装置进行说明。

用于解决课题的方法

作为实现上述目的的一方案，提出有如下隔音罩以及被该隔音罩包围的带电粒子线装置的方案，在以下包围带电粒子线装置的隔音罩中，具备空心部形成部件，该部件形成筒状体，该筒状体具有沿该隔音罩的内壁的壁面，通过上述空心部形成部件形成的筒状体的一端开放，该筒状部的另一端封闭。

发明效果

根据上述构成，可提供隔音罩以及带电粒子线装置，所述隔音罩不需要较厚的吸声件等就能够小型并且抑制由特定频率带来的图像干扰。

附图说明

图1是带电粒子线装置的构成图。

图2是表示带电粒子线装置的耐噪音性能的频率特性的图。

图3是表示对于带电粒子线装置设置隔音罩的例子的图。

图4是表示对隔音罩的耐噪音性能的影响的图。

图5是表示带电粒子线装置和在隔音罩内产生的声音驻波的关系的图。

图6是表示设置有隔音罩的带电粒子线装置的一个例子的图。

图7是说明隔音罩部详细的图。

图8是对验证隔音罩的效果的数值分析模型进行说明的图。

图9是对验证本发明的实施例1的效果的数值分析结果进行说明的图。

图10是对验证隔音罩的效果的数值分析结果进行说明的另一图。

图11是表示设置有隔音罩的带电粒子线装置的另一例的图。

图12是表示设置有隔音罩的带电粒子线装置的又一例的图。