[发明专利]成型方法和成型装置

权利要求书

1.一种成型方法，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，所述成型方法的特征在于，包括：

将所述膜的所述被成型区域的外缘部固定的固定工序；以及

以使在所述固定工序中将所述树脂膜固定的一侧的流体压力相对较小的方式在所述树脂膜的两个面产生规定的压力差的调压工序。

2.如权利要求1所述的成型方法，其特征在于，包括：

对所述膜进行加热的第一加热工序。

3.如权利要求2所述的成型方法，其特征在于：

所述第一加热工序使被加热了的导热台与所述膜的背面接触来进行加热。

4.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序将所述膜的图案面或背面中的任一方维持在大气压。

5.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序对所述图案面侧进行加压。

6.如权利要求1至3中任一项所述的成型方法，其特征在于：

所述调压工序对所述图案面侧进行减压。

7.如权利要求1至6中任一项所述的成型方法，其特征在于，包括：

将所述膜配置在具有作为所期望的曲面的受压面的受压台上，以使得在所述调压工序中形成的预曲面的背面重叠在受压面上的配置工序；以及

从所述图案面侧通过流体对所述膜向所述受压台进行加压的加压工序。

8.如权利要求7所述的成型方法，其特征在于，包括：

对所述膜进行加热的第二加热工序。

9.如权利要求7或8所述的成型方法，其特征在于，包括：

在所述加压工序之前对所述膜与所述受压台之间的气体进行减压的减压工序。

10.一种成型装置，其用于在膜的规定的被成型区域成型超过该膜的厚度的曲面，其中，该膜包括具有微细图案的图案面和与该图案面相向的背面，所述成型装置的特征在于，包括：

第一箱体，其在所述膜的图案面侧构成第一压力室；

第二箱体，其在所述膜的背面侧构成第二压力室；

固定机构，其将所述膜的所述被成型区域的外缘部固定；以及

调压机构，其以使所述固定机构将所述膜固定的一侧的压力较小的方式调节所述第一压力室与所述第二压力室的压力差。

11.如权利要求10所述的成型装置，其特征在于，包括：

加热机构，其用于对所述膜进行加热。

12.如权利要求11所述的成型装置，其特征在于：

所述加热机构具有导热台，其形成为能够与所述膜的背面接触、分离，用于对与所述膜接触的部分均匀地加热。

13.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构将所述第一压力室或所述第二压力室维持在大气压。

14.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构具有用于对所述第一压力室或所述第二压力室进行加压的加压机构。

15.如权利要求10至12中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述调压机构具有用于对所述第一压力室或所述第二压力室进行减压的减压机构。

16.如权利要求10至15中任一项所述的成型装置，其特征在于：

所述固定机构与所述第一箱体或所述第二箱体形成为一体。