[发明专利]工作台装置及输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及工作台装置及输送装置。

背景技术

在输送装置中，使用了例如如专利文献1所公开的、具有能够移动的工作台的工作台装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－195620号

发明内容

发明要解决的问题

在工作台装置中，若工作台的定位精度降低，工作台未配置在期望的位置，则具有该工作台装置的输送装置的性能有可能降低。例如，虽然设为了要使工作台在铅垂方向上笔直地移动，但是若该工作台未笔直地移动，则工作台的定位精度降低，载置于该工作台的物体有可能未配置在期望的位置。另外，虽然设为了要以工作台的上表面与水平面平行的方式对工作台进行定位，但是若该工作台的上表面相对于水平面倾斜，则载置于该工作台的物体有可能未配置在期望的位置。

本发明的目的在于提供能够抑制定位精度降低的工作台装置及输送装置。

用于解决问题的方案

用于达到上述目的的本发明的工作台装置包括：第1构件，其能够在水平面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第1可动构件，其具有第1上表面、第1下表面以及连结上述第1上表面与上述第1下表面的第1侧面，上述第1上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的第1部位；第2可动构件，其具有第2上表面、第2下表面以及连结上述第2上表面与上述第2下表面的第2侧面，上述第2上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的与上述第1部位不同的第2部位；第1轴承构件，其利用向该第1轴承构件与上述第1可动构件的第1侧面之间供给的气体，在该第1轴承构件与上述第1侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第1可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第1可动构件；第2轴承构件，其利用向该第2轴承构件与上述第2可动构件的第2侧面之间供给的气体，在该第2轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第2可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第2可动构件；致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及重力补偿装置，其包括向上述第1可动构件的第1下表面所面对的第1空间供给气体的第1供给部、用于调整来自上述第1供给部的气体供给量的第1调整部、向上述第2可动构件的第2下表面所面对的第2空间供给气体的第2供给部以及用于调整来自上述第2供给部的气体供给量的第2调整部，该重力补偿装置能够分别调整上述第1空间的压力和上述第2空间的压力。