[发明专利]工作台装置及输送装置

权利要求书

1.一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：

第1构件，其能够在水平面内移动；

第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；

第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述水平面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；

工作台，其支承于上述第2构件；

第1可动构件，其具有第1上表面、第1下表面以及连结上述第1上表面与上述第1下表面的第1侧面，上述第1上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的第1部位；

第2可动构件，其具有第2上表面、第2下表面以及连结上述第2上表面与上述第2下表面的第2侧面，上述第2上表面侧的至少一部分连接于上述工作台的与上述第1部位不同的第2部位；

第1轴承构件，其利用向该第1轴承构件与上述第1可动构件的第1侧面之间供给的气体，在该第1轴承构件与上述第1侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第1可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第1可动构件；

第2轴承构件，其利用向该第2轴承构件与上述第2可动构件的第2侧面之间供给的气体，在该第2轴承构件与上述第2侧面之间形成气体轴承，以能够使上述第2可动构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第2可动构件；

致动器，其产生用于使上述第1构件移动的动力；以及

重力补偿装置，其包括向上述第1可动构件的第1下表面所面对的第1空间供给气体的第1供给部、用于调整来自上述第1供给部的气体供给量的第1调整部、向上述第2可动构件的第2下表面所面对的第2空间供给气体的第2供给部以及用于调整来自上述第2供给部的气体供给量的第2调整部，该重力补偿装置能够分别调整上述第1空间的压力和上述第2空间的压力。

2.根据权利要求1所述的工作台装置，其中，

上述重力补偿装置调整上述第1空间的压力，而调整上述第1可动构件的与上述第1轴线平行的方向上的位置，调整上述第2空间的压力，而调整上述第2可动构件的与上述第1轴线平行的方向上的位置。

3.根据权利要求1或2所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括：

第1支承构件，其用于支承上述第1轴承构件，该第1支承构件的至少一部分配置于上述第1可动构件和上述第1轴承构件的周围；以及

第2支承构件，其用于支承上述第2轴承构件，该第2支承构件的至少一部分配置于上述第2可动构件和上述第2轴承构件的周围，

上述第1空间由上述第1可动构件的第1下表面和上述第1支承构件的内表面限定，

上述第2空间由上述第2可动构件的第2下表面和上述第2支承构件的内表面限定。

4.根据权利要求3所述的工作台装置，其中，

上述重力补偿装置调整上述第1空间的压力以使得上述第1空间的压力高于上述第1支承构件的外侧的空间的压力，调整上述第2空间的压力以使得上述第2空间的压力高于上述第2支承构件的外侧的空间的压力。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的工作台装置，其中，

该工作台装置包括支承装置，该支承装置配置在上述第2构件与上述工作台之间，并用于柔软地支承上述工作台。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的工作台装置，其中，

上述第1轴承构件具有向该第1轴承构件与上述第1可动构件的第1侧面之间供给气体的第1供给口，

上述第2轴承构件具有向该第2轴承构件与上述第2可动构件的第2侧面之间供给气体的第2供给口，

在上述第1可动构件的与上述第1轴线平行的方向上的移动范围内，上述第1供给口持续与上述第1侧面相对，

在上述第2可动构件的与上述第1轴线平行的方向上的移动范围内，上述第2供给口持续与上述第2侧面相对。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的工作台装置，其中，

在与上述第1轴线平行的方向上，上述第1可动构件的尺寸大于上述第1轴承构件的尺寸，上述第2可动构件的尺寸大于上述第2轴承构件的尺寸。