[发明专利]致动器和具备该致动器的精密机械无效

专利信息
申请号: 201380002394.8 申请日: 2013-12-11
公开(公告)号: CN104246248A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 佐藤俊德 申请(专利权)人: 日本精工株式会社
主分类号: F16C29/06 分类号: F16C29/06;F16C32/06;F16H19/02
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 李辉;蔡丽娜
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 致动器 具备 精密 机械
【说明书】:

技术领域

该发明涉及致动器,所述致动器具备借助带驱动而沿引导轨道往复运动的滑动体。

背景技术

过去,在高精度的制造装置、检查装置、搬送装置等中使用致动器,该致动器的滑动体借助基于旋转电机的带驱动而沿引导轨道往复运动。构成该致动器的滑动体具备针对引导轨道的轴承。驱动带绕挂于驱动带轮和从动带轮之间。作为这样的致动器的现有例,列举有专利文献1和专利文献2中记载结构。

记载于专利文献1和专利文献2的致动器具有沿各自的引导轨道移动的主轴承(固定搭载物的滑动体)和副轴承(滑动体)。这些轴承具有静压垫,在所述静压垫和各引导轨道之间形成静压空气轴承。

这样的致动器通常在以下状态下使用:引导轨道的长度方向一端利用螺栓被固定于基座的驱动带轮侧,另一端利用螺栓被固定于从动带轮侧。

由此,当由于引导轨道与基座的材质不同而热膨胀系数的差较大时,由于温度变化导致在引导轨道和基座之间产生伸缩差。而且,即便引导轨道与基座的材质相同,当两者产生温度差时也会产生伸缩差。并且,若在引导轨道和基座之间产生伸缩差,则会在引导轨道产生形变,因此,需要实施防止该情况的对策。

在专利文献3中,作为其对策记载了下述内容:在用于安装直线引导装置的轨道的底座(基座)设置插入轨道的底部的槽,将轨道的底部插入该槽中,并且,设置按压部件,该按压部件将轨道的至少一侧面向槽内侧面按压。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2001-248703号公报

专利文献2:日本特开2008-101642号公报

专利文献3:日本特开2002-349564号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是,在记载于专利文献3的对策中,直线引导装置的运动精度依赖于设置在基座的槽的底面以及侧面的面精度,从而滑动体的直行精度(直线度)有可能降低。因此,不仅是基座的槽的底面以及侧面,而且与这些面接触的轨道的面也需要高精度地进行加工,从而加工成本增高。此外,根据基座的材质需要专用的轨道。

由此,对于记载于专利文献3的对策,在成本方面尚有改善的余地。

该发明的课题在于,在具备借助带驱动而沿引导轨道往复运动的滑动体的致动器中,对于在与基座之间产生伸缩差时而使引导轨道产生形变的问题,能够以比记载于专利文献3的对策成本低的对策来防止。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题,该发明的一个方式的致动器具有:(1)驱动带,其绕挂于驱动带轮和从动带轮之间;(2)引导轨道,其与所述驱动带并列配置;(3)滑动体,其具有静压垫,在所述静压垫和所述引导轨道之间形成静压空气轴承,所述滑动体借助所述驱动带的驱动而沿所述引导轨道往复运动;以及(4)直线引导装置,其具有轴承、导轨和滚动体,(5)所述致动器在以下状态下使用:所述轴承被固定在所述引导轨道的长度方向一端即所述驱动带轮侧的端部,所述导轨被固定于基座。

即,该发明的一个方式的致动器根据具有所述要素(1)~(3)的致动器,其特征在于,具有所述要素(4)并且满足所述要素(5)。

在该发明的一个方式的致动器中,具有所述结构(1)~(3)的致动器的引导轨道的长度方向一端即驱动带轮侧(发热源侧)的端部经由直线引导装置而固定于基座,由此,通过直线引导装置的轴承相对于导轨相对地进行直线移动,在引导轨道和基座产生的伸缩差被吸收。由此,在引导轨道和基座产生伸缩差的情况下,防止了引导轨道产生形变。

在该发明的一个方式的致动器中,在引导轨道的长度方向一端即驱动带轮侧的端部设置一般的直线引导装置,由此,实施防止由于与基座的伸缩差而在引导轨道产生形变的对策。该对策能够以比记载于专利文献3的对策低的成本实现。

该发明的一个方式的致动器作为精密机械(精密加工机械、精密检查机械、精密扫描装置、半导体器件制造装置、平板显示器制造装置等)的直线引导致动器是适宜使用的。

发明效果

该发明的致动器是比记载于专利文献3的对策成本低的对策,在引导轨道与基座之间产生伸缩差的情况下,能够防止在引导轨道产生形变。

附图说明

图1是表示实施方式中的致动器的俯视图。

图2是表示实施方式中的致动器的侧视图。

图3是沿图2中的A-A线的剖视图。

图4是沿图2中的B-B线的剖视图。

具体实施方式

下面,对该发明的实施方式进行说明,但该发明不限于该实施方式。

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