[发明专利]致动器和具备该致动器的精密机械

权利要求书

1.一种致动器，其具有：

驱动带，其绕挂于驱动带轮和从动带轮之间；

引导轨道，其与所述驱动带并列配置；

滑动体，其具有静压垫，在所述静压垫和所述引导轨道之间形成静压空气轴承，所述滑动体借助所述驱动带的驱动而沿所述引导轨道往复运动；以及

直线引导装置，其具有轴承、导轨和滚动体，

所述致动器在以下状态下使用：所述轴承被固定在所述引导轨道的长度方向一端即所述驱动带轮侧的端部，所述导轨被固定于基座。

2.根据权利要求1所述的致动器，其中，

所述引导轨道为陶瓷制成或钢铁制成，

所述基座为石材制成、钢铁制成或铝合金制成。

3.根据权利要求1所述的致动器，其中，

所述引导轨道的长度方向一端固定于驱动侧固定板上，所述驱动带轮的壳体固定于该驱动侧固定板，

所述引导轨道的长度方向另一端固定于从动侧固定板上，所述从动带轮的壳体固定于该从动侧固定板，

所述从动侧固定板直接固定于所述基座，

所述驱动侧固定板经由所述直线引导装置固定于所述基座。

4.根据权利要求3所述的致动器，其中，

所述从动侧固定板固定于凸部，所述凸部形成得比所述基座的基线高。

5.一种精密机械，其具备权利要求1～4中的任一项所述的致动器作为直线引导致动器。