[发明专利]弹性波装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及弹性波装置及其制造方法。

背景技术

图5是现有的弹性波装置1的截面图。弹性波装置1具备：压电基板2、设于压电基板2之上的梳形电极3、设于压电基板2之上的布线4、包围梳形电极3的侧壁5、设于侧壁5的上表面的盖体7、设于盖体7之上的电极8、从上密封盖体7以及电极8的密封树脂9、贯通密封树脂9的电极10、和设于电极10的上表面的端子电极11。侧壁5包围梳形电极3所激励的空间6。盖体7从上方覆盖空间6。

与弹性波装置1类似的现有的弹性波装置例如如专利文献1所记载那样。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2001-185976号公报

发明内容

发明的概要

弹性波装置具备：压电基板、设于压电基板上表面的梳形电极、与梳形电极连接的布线、设于压电基板上并隔着空间覆盖梳形电极的元件封盖、设于元件封盖上的第1电极、覆盖元件封盖和第1电极的密封树脂、设于密封树脂上的端子电极、和贯通密封树脂并镀粒径第1电极和端子电极的第2电极。

在该弹性波装置中，第1电极和第2电极由通过电镀形成的覆膜构成。第1电极的镀粒径大于第2电极的镀粒径。

或者，在该弹性波装置中，第1电极的杨氏模量小于第2电极的杨氏模量。

或者，在该弹性波装置中，第1电极由通过无光泽铜镀形成的覆膜构成，第2电极由通过光泽铜镀形成的覆膜构成。

或者，在该弹性波装置中，第1电极的内部应力是拉伸应力，第2电极的内部应力是压缩应力，第1电极的内部应力的大小小于第2电极的内部应力。

或者，在该弹性波装置中，第1电极的密度小于第2电极的密度。

附图说明

图1是实施方式中的弹性波装置的截面图。

图2A是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图2B是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图2C是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图3A是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图3B是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图3C是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图4A是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图4B是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图4C是表示实施方式中的弹性波装置的制造方法的截面图。

图5是现有的弹性波装置的截面图。

具体实施方式

图1是实施方式中的弹性波装置21的截面图。

在图1中，弹性波装置21具有：设于压电基板22的上表面22A的梳形电极23、设于压电基板22的上表面22A的布线24、设于压电基板22的上表面22A的侧壁25、设于侧壁25的上表面25A的盖体27、从布线24的上表面24A跨到盖体27的上表面27A地设置的电极29、从上方密封盖体27以及电极29的密封树脂30、贯通密封树脂30的电极31、和设于电极31的上表面31A的端子电极32。侧壁25包围梳形电极23，构成梳形电极23激励的空间26。

压电基板22由旋转Y切割X传播的单晶钽酸锂构成，其板厚为100～350μm程度。

梳形电极23以形成于压电基板22的上表面22A的铝为主成份的金属构成，通过对梳形电极23施加电压来在压电基板22的上表面22A激励弹性表面波。在梳形电极23的表面根据需要形成由氧化硅等电介质构成的保护膜。

布线24由形成于压电基板22的上表面22A的导体构成，与梳形电极23电连接。

侧壁25通过对聚酰亚胺系的光硬化性树脂进行曝光、显影而形成。

空间26为了激励弹性表面波而设于梳形电极23的上方并被密封。

盖体27从上方覆盖空间26并将其密封。将聚酰亚胺系的光硬化性树脂薄片与侧壁25的上表面25A粘接，并对其进行曝光、显影而形成盖体27。侧壁25和盖体27构成密封梳形电极23和空间26的元件封盖。