[发明专利]管型臭氧生成装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种管型臭氧生成装置及其制造方法。

背景技术

臭氧具有很强的氧化作用，作用后的臭氧分解为无害氧等。因此，在半导体制造、食品制造、水处理等领域在进行清洗、杀菌、脱臭等处理中多使用臭氧。

已进入实用阶段的臭氧生成装置多数采用无声放电方式。

无声放电方式的臭氧生成装置中，隔着介电体在彼此相对的一对电极之间设置有空隙（放电间隙）。当在两电极间施加高电压时，会在放电间隙发生无声放电。向放电间隙通入含氧的原料气体以后，原料气体就会臭氧化而生成臭氧。

根据构造的不同，这样的无声放电方式臭氧生成装置包括板型与管型两类。板型臭氧生成装置中生成臭氧的单元呈板状。相对于此，管型臭氧生成装置中生成臭氧的单元呈管状。

板型臭氧生成装置具有不适合大型化的倾向，相对于此，管型臭氧生成装置则不会产生上述问题，能够增加单元的数量。因此，管型臭氧生成装置与板型臭氧生成装置相比具有易于大型化的优点。

与本发明相关的现有技术文献例如有专利文献1、专利文献2。

专利文献1中公开了管型臭氧生成装置。该臭氧生成装置中设置有一端被封闭为球面状的圆筒状玻璃制介电体管。在该介电体管的内表面，具体而言，在介电体管的自球面状端部到侧部的那一部分的内表面上形成有由不锈钢等金属形成的第一电极。

在介电体管内部设置有与高压电源电气连接的棒状高压供电部件。第一电极经不锈钢毛绒材与该高压供电部件电气连接。圆筒状第二电极被设置成将介电体管外侧包围起来，在介电体管与第二电极之间形成放电间隙。

原料气体在通过被施加高电压的放电间隙的时间内臭氧化。已臭氧化的气体自球面状端部所在的臭氧化气体引出口引出。

专利文献2中也公开有与专利文献1一样的管型臭氧生成装置。具体而言，以蒸镀或溅射等方法在相当于玻璃制介电体管的介电体电极内表面形成有相当于第一电极的导电膜。

扭曲梳状不锈钢线束安装在相当于高压供电部件的供电棒上。这些线压接在安装在导电膜的一部分内表面上的圆筒状金属板上，导电膜与供电棒电气连接。

专利文献1：日本公开特许公报特开2012-144425号公报

专利文献2：WO-A1-2010021022

－发明要解决的技术问题－

在专利文献1、专利文献2的管型臭氧生成装置中，介电体管的端部中原料气体流动的上游侧端部开放，臭氧流动的下游侧端部封闭。因此，通常情况下，即使出现原料气体进入介电体管内部的情况，臭氧也不会进入介电体管内部。

但是，臭氧生成装置停止时则具有以下可能性，臭氧朝着介电体管上游侧倒流或扩散，臭氧进入介电体管内部。若臭氧进入介电体管内部则会出现以下情况，即出现生锈等不良现象而需要更换电极。

然而，因为现有臭氧生成装置中的电极是采用蒸镀等方法形成的，所以该电极是一种无法从介电体管上分离下来的构造。因此，在需要更换电极的情况下，不得不对整个介电体管进行更换。

在利用蒸镀等形成电极的情况具有以下不利之处：需要很多工序，生产性欠佳等。

于是，本发明的目的在于：提供一种电极易于更滑的管型臭氧生成装置及其制造方法。

－用以解决技术问题的技术方案－

本发明涉及包括管状臭氧生成单元的管型臭氧生成装置。所述臭氧生成单元具有：圆筒状外侧电极管、和隔着放电间隙布置在所述外侧电极管的内侧的内侧电极管，所述内侧电极管具有：圆筒状介电体管、和与所述介电体管的内周面紧密接触的圆筒状电极，所述电极以可被取下的状态插在所述介电体管中。

也就是说，在该臭氧生成装置中，与介电体管的内周面紧密接触的圆筒状电极以可被取下状态插在介电体管中。因此，能够将电极自介电体管上取下来以进行更换。

具体而言,可以如此，所述电极由具有弹性的板状导体形成，电极利用其自身的弹力在所述介电体管的内部扩张，而与该介电体管的内周面紧密接触。

若如此，仅卷起导体并将其插入介电体管内即能够将电极安装在介电体管内，电极的更换由此而变得简单。

在该情况下，例如可以使所述电极经自该电极延伸的端子引线与外部电源电气连接。

例如，所述内侧电极管可以进一步具有已插入所述介电体管内的端子棒，沿半径方向延伸的所述导体的一端与所述端子棒接合，所述电极经所述端子棒与外部电源电气连接。