[实用新型]一种用于晶体硅片高温烧结炉的滚轮自动清洁装置有效
| 申请号： | 201320886314.7 | 申请日： | 2013-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN203687608U | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 吴之文 | 申请（专利权）人： | 上海索日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B21/08 | 分类号： | F27B21/08;B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 左祝安 |
| 地址： | 201501 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体 硅片 高温 烧结炉 滚轮 自动 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶体硅片高温烧结炉的滚轮自动清洁装置，高温烧结炉包括一滚轮本体，在所述滚轮本体的侧面设置有一自动清洁装置，其特征在于，所述自动清洁装置包括一与滚轮本体接触的毛刷，所述毛刷间隙内设置有向滚轮本体喷气的多个小孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅片高温烧结炉的滚轮自动清洁装置，其特征是，所述小孔直径为3mm。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅片高温烧结炉的滚轮自动清洁装置，其特征是，所述毛刷的长度为40mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶体硅片高温烧结炉的滚轮自动清洁装置，其特征是，所述毛刷安装在一中空管上，所述小孔为中空管上的开孔，所述中空管连接一压缩空气进气管，进气管的直径为10mm。
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