[实用新型]模具内孔沉积金刚石薄膜的夹具

权利要求书

1.模具内孔沉积金刚石薄膜的夹具，其特征在于：它包括V型铜垫板、电极杆、热丝托杆、热丝拉杆、弹簧支架、供气管道以及穿过模具内孔的数根热丝，所述热丝平行布置在热丝托杆和热丝拉杆上，所述热丝托杆和热丝拉杆分别与电极杆相连，所述热丝的一端固定在热丝拉杆的热丝槽中，另一端固定在弹簧支架的弹簧上，所述弹簧支架与水平面成30°的夹角，所述弹簧支架一端通过陶瓷套安装在热丝托杆上，另一端通过陶瓷套安装有一弹簧，所述V型铜垫板设置在热丝的正下方，且所述的V型铜垫板的V型槽中心线与热丝平行，所述V型铜垫板的底部与基片台连接在一起。

2.如权利要求1所述的模具内孔沉积金刚石薄膜的夹具，其特征在于：所述V型铜垫板上还设有供气管道，所述供气管道正对模具内孔直径较大的一端，模具内孔直径较小的一端朝向真空泵抽气口，使混合气体充分利用真空泵的吸力将碳源以及沉积生长金刚石膜所需要的气体输送到每一个模具内孔中。

3.如权利要求1所述的模具内孔沉积金刚石薄膜的夹具，其特征在于：所述电极杆、基片台内部均设有冷却水循环管，确保排布的多根热丝和使用大功率所产生的热量及时被冷却水散热。