[实用新型]一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空脱羟炉，具体涉及一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉。

背景技术

传统半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉的结构如图1所示，半导体石英玻璃制品在进出炉时，需要先松开锁紧装置后打开炉门，然后用叉车将装料装置的料盘从炉体中拉出来。并且，采用上述真空脱羟炉在冷却时，如图2所示，炉体的上表面是进风口，下表面是出风口，风向从上向下在管材表面流动，从外部四周向中心逐渐冷却，使冷却温度不均匀，造成制备的管材缺陷较多，同时容易使辅材氧化，设备生产效率非常低。因此，针对目前传统的真空脱羟炉其主要存在装料困难、安全隐患大、劳动强度大、设备效率低、产量低、生产成本高等问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，解决了传统真空脱羟炉使用过程中针对大口径石英管装料困难的问题，可以一次性地完成进出炉过程，避免了现有技术中多次周转问题。

本实用新型提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，包括炉门，所述炉门设置于炉体的一侧，所述炉体内部设置有台车，所述台车与炉门固定连接，所述台车的底部具有滚轮，所述台车外连有电机。 

所述炉门还连接有气动装置。

所述炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上设置有第一进风口，炉体底部上设置有第二进风口，所述炉体的中部的上方设置有第一出风口，所述炉体的中部的下方设置有第二出风口。

所述第一进风口连接第一风冷机构，所述第二进风口连接第二风冷机构，所述第一出风口和第二出风口均连接第一风冷机构，且所述第一出风口和第二出风口均连接第二风冷机构。

所述第一风冷机构通过第一换热器与第一进风口连接；所述第一风冷机构通过第二换热器分别与第一出风口、第二出风口连接；所述第二风冷机构通过第三换热器与第二进风口连接，所述第二风冷机构通过第四换热器分别与第一出风口、第二出风口连接。

所述炉门上设置有第一加热器，炉门底部上设置有第二加热器，所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有第三加热器、第四加热器、第五加热器、第六加热器。

所述第一加热器连接第一温控仪；所述第二加热器连接第二温控仪；所述第三加热器连接第三温控仪；所述第四加热器连接第四温控仪；所述第五加热器连接第五温控仪；所述第六加热器连接第六温控仪。

所述第一风冷机构和第二风冷机构交替循环使用。

所述半导体石英玻璃制品为半导体石英玻璃管或半导体石英玻璃棒。

本实用新型具有的优点在于：

本实用新型提供一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，解决了传统真空脱羟炉使用过程中针对大口径石英管装料困难的问题，使大口径石英玻璃制品装卸、进出炉的安全性和可操作性显著提高，并使劳动强度和风险大幅度下降，可以一次性地完成进出炉过程，避免了现有技术中多次周转的问题，不需要频繁地周转料架，使其操作过程更加快捷、使用寿命更长。本实用新型提供的半真空脱羟炉的冷却方式相对于传统技术有所改变，不仅提高了设备的生产效率和产量，而且还降低了生产成本，改善了生产产品的质量。

附图说明

图1为传统真空脱羟炉的结构示意图；

图2为传统真空脱羟炉的冷却示意图；

图3为本实用新型提供的真空脱羟炉的结构示意图； 

图4为本实用新型提供的真空脱羟炉的冷却示意图。

图中：1-炉门；2-炉体；3-台车；4-第一风冷机构；5-第二风冷机构；6-第一换热器；7-第二换热器；8-第三换热器；9-第四换热器；10-第一进风口；11-第二进风口；12-第一出风口；13-第二出风口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。