[实用新型]一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉

权利要求书

1.一种半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，包括炉门，所述炉门设置于炉体的一侧，所述炉体内部设置有台车，所述台车与炉门固定连接，所述台车的底部具有滚轮，所述台车外连有电机。

2.根据权利要求1所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉门还连接有气动装置。

3.根据权利要求2所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉体具有与炉门相对的炉体底部，所述炉门上设置有第一进风口，炉体底部上设置有第二进风口，所述炉体的中部的上方设置有第一出风口，所述炉体的中部的下方设置有第二出风口。

4.根据权利要求3所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一进风口连接第一风冷机构，所述第二进风口连接第二风冷机构，所述第一出风口和第二出风口均连接第一风冷机构，且所述第一出风口和第二出风口均连接第二风冷机构。

5.根据权利要求4所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一风冷机构通过第一换热器与第一进风口连接；所述第一风冷机构通过第二换热器分别与第一出风口、第二出风口连接；所述第二风冷机构通过第三换热器与第二进风口连接，所述第二风冷机构通过第四换热器分别与第一出风口、第二出风口连接。

6.根据权利要求5所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述炉门上设置有第一加热器，炉门底部上设置有第二加热器，所述炉体的上表面、下表面、前表面、后表面分别设置有第三加热器、第四加热器、第五加热器、第六加热器。

7.根据权利要求6所述的半导体石英玻璃制品用真空脱羟炉，其特征在于，所述第一加热器连接第一温控仪；所述第二加热器连接第二温控仪；所述第三加热器连接第三温控仪；所述第四加热器连接第四温控仪；所述第五加热器连接第五温控仪；所述第六加热器连接第六温控仪。