[实用新型]单晶硅棒截断金刚石线锯装置有效
| 申请号： | 201320870190.3 | 申请日： | 2013-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN203622673U | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 陈超;胡乔帆;秦建新;李东平;张昌龙;林峰;吕智;王进保 | 申请（专利权）人： | 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 廖世传 |
| 地址： | 541004 广*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶硅 截断 金刚石 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶硅棒截断金刚石线锯装置，包括切断单晶硅棒（4）的金刚石线锯，其特征在于：所述金刚石线锯包括两条以上的环形金刚石锯丝（1），各条环形金刚石锯丝（1）分别由不同的导轮组张紧而形成两个以上的切割面，各切割面相互平行且之间的距离可调节。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：各条环形金刚石锯丝（1）对单晶硅棒（4）的切割段处于与单晶硅棒（4）轴线平行的同一平面上。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：所述切割段两端的环形金刚石锯丝（1）上设有导向轮（3）。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：各导轮组中导轮（2）的个数为2个、或为3个、或为4个。
5.根据权利要求4所述的单晶硅棒截断金刚石线锯装置，其特征在于：所述导轮（2）中包括一个主动轮和一个张紧轮。
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